[实用新型]一种用于键合机送线滑台的运动控制机构有效
申请号: | 202120831365.4 | 申请日: | 2021-04-20 |
公开(公告)号: | CN215680617U | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 张青松 | 申请(专利权)人: | 安徽汉先智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 金凯 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 键合机送线滑台 运动 控制 机构 | ||
1.一种用于键合机送线滑台的运动控制机构,包括送线滑台(1)以及用于控制送线滑台移动的滑动模块,其特征在于,所述滑动模块包括:
第一滑块(2),所述第一滑块的下端面与送线滑台的上端面通过滑动机构连接;
第二滑块(3),所述第二滑块的下端面与第一滑块的上端面通过滑动机构连接;
第三滑块(4),所述第三滑块的任一端面与第一滑块固定连接,且与该端面相对的另一端通过滑动机构与键合机的基架连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于键合机送线滑台的运动控制机构,其特征在于,所述滑动机构采用两组并排设置的交叉滚子导轨(5)。
3.根据权利要求1所述的一种用于键合机送线滑台的运动控制机构,其特征在于,所述第三滑块与基架的安装面还固定设置有摩擦片(6)。
4.根据权利要求1所述的一种用于键合机送线滑台的运动控制机构,其特征在于,所述送线滑台(1)的上端面的一端固定设置有万向球,所述万向球水平方向的径向两端分别设置挡板和夹板,所述挡板的内侧还设置有弹簧片。
5.根据权利要求4所述的一种用于键合机送线滑台的运动控制机构,其特征在于,所述挡板和夹板通过螺栓与键合机的操作手柄相连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造