[实用新型]一种用于键合机送线滑台的运动控制机构有效
申请号: | 202120831365.4 | 申请日: | 2021-04-20 |
公开(公告)号: | CN215680617U | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 张青松 | 申请(专利权)人: | 安徽汉先智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 金凯 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 键合机送线滑台 运动 控制 机构 | ||
本实用新型提供一种用于键合机送线滑台的运动控制机构,包括送线滑台以及用于控制送线滑台移动的滑动模块,所述滑动模块包括:第一滑块,所述第一滑块的下端面与送线滑台的上端面通过滑动机构连接;第二滑块,所述第二滑块的下端面与第一滑块的上端面通过滑动机构连接;以及第三滑块,所述第三滑块的任一端面与第一滑块固定连接,且与该端面相对的另一端通过滑动机构与键合机的基架连接。本实用新型通过滑动模块连接送线滑台和键合机,通过键合机的操作手柄控制滑动模块上万向球的运动,进而使送线滑台实现XYZ三个方向上的运动,整体结构简单紧凑,稳定度和精度较高。
技术领域
本实用新型涉及键合机系统技术领域,具体涉及一种用于键合机送线滑台的运动控制机构。
背景技术
芯片产业的发展在工业的快速发展的今天有着举足轻重的作用,虽然目前国内的芯片产业从原料到出厂所需要的一系列封装测试设备是集成电路产业的薄弱环节,但是大部分封测产业仍主要分布在我国,因此对于封测设备的需求量也在逐渐增加;键合机作为一种重要的封测设备之一,需要保证其控制操作的精度和稳定性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于键合机送线滑台的运动控制机构,通过优化现有工艺,提高送线滑台运动的精度和稳定性。
为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种用于键合机送线滑台的运动控制机构,包括送线滑台以及用于控制送线滑台移动的滑动模块,所述滑动模块包括:
第一滑块,所述第一滑块的下端面与送线滑台的上端面通过滑动机构连接;
第二滑块,所述第二滑块的下端面与第一滑块的上端面通过滑动机构连接;
第三滑块,所述第三滑块的任一端面与第一滑块固定连接,且与该端面相对的另一端通过滑动机构与键合机的基架连接。
优选地,所述滑动机构采用两组并排设置的交叉滚子导轨。
进一步地,所述第三滑块与基架的安装面还固定设置有摩擦片。
进一步地,所述送线滑台的上端面的一端固定设置有万向球,所述万向球水平方向的径向两端分别设置有挡板和夹板,所述挡板的内侧还设置有弹簧片。
进一步地,所述挡板和夹板通过螺栓与键合机的操作手柄相连接。
由以上技术方案可知,本实用新型通过滑动模块连接送线滑台和键合机,并通过键合机的操作手柄控制滑动模块上万向球的运动,进而使送线滑台实现XYZ三个方向上的运动,整体结构简单紧凑,稳定度和精度较高。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图中:1、送线滑台;2、第一滑块;3、第二滑块;4、第三滑块;5、交叉滚子导轨;6、摩擦片。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的一种优选实施方式做详细的说明。
如图1所示的用于键合机送线滑台的运动控制机构,包括送线滑台1以及用于控制送线滑台移动的滑动模块,所述滑动模块包括:第一滑块2,所述第一滑块的下端面与送线滑台的上端面通过两组交叉滚子导轨滑动连接;第二滑块3,所述第二滑块的下端面与第一滑块的上端面通过两组交叉滚子导轨滑动连接;第三滑块4,所述第三滑块的任一端面与第一滑块固定连接,且与该端面相对的另一端通过两组交叉滚子导轨5滑动与键合机的基架连接。
在具体的使用中,所述第三滑块4与基架的安装面还设置有摩擦片6,所述摩擦片通过安装座固定在该安装面上,安装在键合机的基架上螺线管通过电磁作用,实现对摩擦片的制动,从而实现送线滑台1的刹车停止。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造