[实用新型]一种显示和半导体器件封装固化装置有效

专利信息
申请号: 202120860896.6 申请日: 2021-04-25
公开(公告)号: CN214672682U 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 程玄清;林彬;李通光 申请(专利权)人: 布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L21/56;H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 代理人: 盛影影
地址: 200120 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 显示 半导体器件 封装 固化 装置
【权利要求书】:

1.一种显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,包括:箱体和箱盖,所述箱体和所述箱盖均设于手套箱内,所述箱体内设有基板平台,所述箱盖内设有盖板平台和吸附平台,所述基板平台与所述盖板平台对应设置,所述盖板平台对应设于所述吸附平台的下方,所述盖板平台上设有定位销,所述箱盖上设有定位孔,所述定位销与所述定位孔之间配合连接。

2.根据权利要求1所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,还包括垂直升降机构、控制器和位移传感器,所述垂直升降机构设于所述箱盖上,所述垂直升降机构与所述吸附平台相连接,所述垂直升降机构用于带动吸附平台做升降运动,所述位移传感器用于检测吸附平台的移动位置,所述控制器分别与所述垂直升降机构、位移传感器相连接。

3.根据权利要求2所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,还包括紫外灯,所述紫外灯与所述控制器相连接。

4.根据权利要求2所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,所述箱盖的两端对称设有气缸,所述气缸的活塞杆的一端固定在所述箱体上,所述气缸与所述控制器相连接,所述气缸用于驱动箱盖与箱体的开启和闭合。

5.根据权利要求4所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,所述箱体和箱盖之间设有导向杆,所述导向杆的一端固定在箱体上,所述导向杆的另一端与箱盖活动连接,所述气缸的活塞杆的两侧均设有所述导向杆。

6.根据权利要求5所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,所述箱体的侧壁上设有凸台,所述导向杆和所述气缸的活塞杆的一端均与所述凸台固定连接。

7.根据权利要求2所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,所述吸附平台为真空吸盘。

8.根据权利要求7所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,还包括真空气泵,所述真空气泵与所述真空吸盘通过气管连接,所述真空气泵与所述控制器相连接。

9.根据权利要求1所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,所述盖板平台上设有凹槽,所述凹槽的周向设有所述定位销,所述凹槽与所述吸附平台对应设置,所述凹槽用于盖板的嵌入。

10.根据权利要求9所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,所述箱盖内壁上设有固定板,所述定位孔设于所述固定板上。

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