[实用新型]一种显示和半导体器件封装固化装置有效
申请号: | 202120860896.6 | 申请日: | 2021-04-25 |
公开(公告)号: | CN214672682U | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 程玄清;林彬;李通光 | 申请(专利权)人: | 布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L21/56;H01L21/67;H01L21/683 |
代理公司: | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人: | 盛影影 |
地址: | 200120 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 半导体器件 封装 固化 装置 | ||
1.一种显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,包括:箱体和箱盖,所述箱体和所述箱盖均设于手套箱内,所述箱体内设有基板平台,所述箱盖内设有盖板平台和吸附平台,所述基板平台与所述盖板平台对应设置,所述盖板平台对应设于所述吸附平台的下方,所述盖板平台上设有定位销,所述箱盖上设有定位孔,所述定位销与所述定位孔之间配合连接。
2.根据权利要求1所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,还包括垂直升降机构、控制器和位移传感器,所述垂直升降机构设于所述箱盖上,所述垂直升降机构与所述吸附平台相连接,所述垂直升降机构用于带动吸附平台做升降运动,所述位移传感器用于检测吸附平台的移动位置,所述控制器分别与所述垂直升降机构、位移传感器相连接。
3.根据权利要求2所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,还包括紫外灯,所述紫外灯与所述控制器相连接。
4.根据权利要求2所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,所述箱盖的两端对称设有气缸,所述气缸的活塞杆的一端固定在所述箱体上,所述气缸与所述控制器相连接,所述气缸用于驱动箱盖与箱体的开启和闭合。
5.根据权利要求4所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,所述箱体和箱盖之间设有导向杆,所述导向杆的一端固定在箱体上,所述导向杆的另一端与箱盖活动连接,所述气缸的活塞杆的两侧均设有所述导向杆。
6.根据权利要求5所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,所述箱体的侧壁上设有凸台,所述导向杆和所述气缸的活塞杆的一端均与所述凸台固定连接。
7.根据权利要求2所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,所述吸附平台为真空吸盘。
8.根据权利要求7所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,还包括真空气泵,所述真空气泵与所述真空吸盘通过气管连接,所述真空气泵与所述控制器相连接。
9.根据权利要求1所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,所述盖板平台上设有凹槽,所述凹槽的周向设有所述定位销,所述凹槽与所述吸附平台对应设置,所述凹槽用于盖板的嵌入。
10.根据权利要求9所述的显示和半导体器件封装固化装置,其特征在于,所述箱盖内壁上设有固定板,所述定位孔设于所述固定板上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择