[实用新型]一种多晶硅生产用清洗机

权利要求书

1.一种多晶硅生产用清洗机，包括脱胶槽(1)和超声波清洗槽(2)，其特征在于，还包括传送装置，所述传送装置设置有固定架(3)，所述固定架(3)底部设置有托架(4)，所述托架(4)与固定架(3)之间设置有升降气缸(5)，升降气缸(5)可控制托架(4)上下移动，所述的托架(4)侧面设置有驱动气缸(6)，所述驱动气缸(6)可控制托架(4)水平移动，所述的脱胶槽(1)连接有导液泵(7)，所述脱胶槽(1)设置内有若干冲洗头(8)，所述冲洗头(8)与导液泵(7)连通，所述冲洗头(8)内部设置有导流板(9)，所述导流板(9)呈螺旋状分布于冲洗头(8)内壁。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产用清洗机，其特征在于，所述导液泵(7)位于脱胶槽(1)外部，所述冲洗头(8)一端延伸至脱胶槽(1)外，所述导液泵(7)与冲洗头(8)之间通过导液管(10)连通。

3.根据权利要求2所述的多晶硅生产用清洗机，其特征在于，所述的脱胶槽(1)外设置有隔离仓(14)，所述导液泵(7)和导液管(10)安装于隔离仓(14)内。

4.根据权利要求1所述的多晶硅生产用清洗机，其特征在于，所述固定架(3)底面设置有滑道(11)，所述滑道(11)内镶嵌有滑座(12)，所述升降气缸(5)安装于滑座(12)底部，所述驱动气缸(6)与滑座(12)侧面连接。

5.根据权利要求1所述的多晶硅生产用清洗机，其特征在于，所述脱胶槽(1)和超声波清洗槽(2)底部设置有底座(13)，所述固定架(3)与底座(13)固定连接。

6.根据权利要求1所述的多晶硅生产用清洗机，其特征在于，所述的反冲头均匀分布于脱胶槽(1)一侧顶部。