[实用新型]一种有机复合靶材冷却装置

权利要求书

1.一种有机复合靶材冷却装置，包括机架、设置在机架顶部的冷却平台以及吹风部件，吹风部件固定在冷却平台的下方，其特征在于：所述冷却平台上设有多组间隔布置的置物滚轴，置物滚轴沿冷却平台长度方向布置并枢接于冷却平台的内壁，每组置物滚轴设有两根，并间隔设置，所述置物滚轴通过驱动件驱动自转，所述吹风部件的风口朝向每组的两根置物滚轴的间隔处，所述机架上还设置有水冷部件。

2.根据权利要求1所述的一种有机复合靶材冷却装置，其特征在于：所述吹风部件设有多个，每个吹风部件均包括风机、风座、通风板，所述风机通过支板设于机架下侧，风座将风机与通风板相连通，每组所述置物滚轴对应一个通风板，且通风板位于任意一组的两个置物滚轴下方，多个通风板的下端将风座连接处闭合，且将冷风向上传递。

3.根据权利要求2所述的一种有机复合靶材冷却装置，其特征在于：所述通风板上端且沿其长度方向间隔开设有通风口，下端设有通口，每个通风口与通口连通。

4.根据权利要求1所述的一种有机复合靶材冷却装置，其特征在于：所述水冷部件包括水箱、水泵、密闭的散热架体，所述水箱设于机架底部，水泵的输入端与水箱相通，输出端通过输水管与散热架体相通，所述散热架体位于置物滚轴的正上方，其一侧通过导水管连通至水箱。

5.根据权利要求4所述的一种有机复合靶材冷却装置，其特征在于：所述散热架体呈中空设置，且底部呈弧形，该弧形的底部采用金属材质。