[实用新型]一种有机复合靶材冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种有机复合靶材冷却装置，包括机架、设置在机架顶部的冷却平台以及吹风部件，吹风部件固定在冷却平台的下方，所述冷却平台上设有多组间隔布置的置物滚轴，置物滚轴沿冷却平台长度方向布置并枢接于冷却平台的内壁，每组置物滚轴设有两根，并间隔设置，所述置物滚轴通过驱动件驱动自转，吹风装置的风口朝向每组的两根置物滚轴的间隔处。本实用新型中每组的两个置物滚轴进行转动时，可带动靶材进行转动而克服冷却的盲区，进而使得靶材上的所有位置都能够与冷风直接接触，并在靶材正上方设置散热架，通过循环水冷的方式，不断将热风进行冷却，同时配合底部呈弧形的金属散热架，进一步促进热空气的循环，加速靶材上热量的散失。

技术领域

本实用新型涉及溅射靶材生产设备技术领域，具体为一种有机复合靶材冷却装置。

背景技术

有机靶材适用于平面显示、柔性显示器、汽车、纺织纤维、电子设备等领域，这就要求有机靶材具有高纯度、高密度、大尺寸一体化等优点，靶材通过镙文等方式与溅射设备相连接，在真空条件下溅射成膜层附着于基片上，再通过各种手段(刻蚀)对薄膜加工，以满足不同需要。

目前，主要使用预制粉末和热压缩成型来制备PTFE靶材。现有技术中存在一些具有冷藏室的冷却装置，通过冷媒的相态改变以及流转，带走冷藏室内的热量，从而达到冷却效果。但是，这种冷却装置的冷却作用过于强烈。如专利号为201922330056.4，名为“一种平面溅射靶材快速冷却装置”，通过开放式的冷却平台装置，工件转移方便，缩短了绑定靶材的冷却时间，提高靶材绑定的速率，但是在冷却时靶材置于多个水平间隔布置的托块上，导致吹风装置风冷时在托块处存在盲区，冷却效果相对较差且不够均匀。

为了解决上述问题，本案由此而生。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种有机复合靶材冷却装置，解决了上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种有机复合靶材冷却装置，包括机架、设置在机架顶部的冷却平台以及吹风部件，吹风部件固定在冷却平台的下方，所述冷却平台上设有多组间隔布置的置物滚轴，置物滚轴沿冷却平台长度方向布置并枢接于冷却平台的内壁，每组置物滚轴设有两根，并间隔设置，所述置物滚轴通过驱动件驱动自转，所述吹风装置的风口朝向每组的两根置物滚轴的间隔处，所述机架上还设置有水冷部件。

优选的，所述吹风部件设有多个，每个吹风部件均包括风机、风座、通风板，所述风机通过支板设于机架下侧，风座将风机与通风板相连通，每组所述置物滚轴对应一个通风板，且通风板位于任意一组的两个置物滚轴下方，多个通风板的下端将风座连接处闭合，且将冷风向上传递。

优选的，所述通风板上端且沿其长度方向间隔开设有通风口，下端设有通口，每个通风口与通口连通。

优选的，所述水冷部件包括水箱、水泵、密闭的散热架体，所述水箱设于机架底部，水泵的输入端与水箱相通，输出端通过输水管与散热架体相通，所述散热架体位于置物滚轴的正上方，其一侧通过导水管连通至水箱。

优选的，所述散热架体呈中空设置，且底部呈弧形，该弧形的底部采用金属材质。

(三)有益效果

采用上述技术方案后，本实用新型与现有技术相比，具备以下优点：本实用新型一种有机复合靶材冷却装置，每组的两个置物滚轴进行转动时，可带动靶材进行转动而克服冷却的盲区，进而使得靶材上的所有位置都能够与冷风直接接触，并在靶材正上方设置散热架，通过循环水冷的方式，不断将热风进行冷却，同时配合底部呈弧形的金属散热架，进一步促进热空气的循环，加速靶材上热量的散失。

附图说明

图1为本实用新型吹风部件结构拆解示意图；