[实用新型]一种MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

PCB板(1)，设有一个；

外壳(2)，设置于所述PCB板(1)上，且所述外壳(2)与所述PCB板(1)围设成相互分隔开的第一腔体(10)、第二腔体(20)及第三腔体(30)；

第一MEMS芯片(3)，设置于所述第一腔体(10)内；

第二MEMS芯片(4)，设置于所述第二腔体(20)内；

ASIC放大器(5)，与所述第一MEMS芯片(3)及所述第二MEMS芯片(4)分别电性连接，且所述ASIC放大器(5)设置于所述第三腔体(30)内；

第一滤波电容(6)，连接于所述ASIC放大器(5)和所述第一MEMS芯片(3)及第二MEMS芯片(4)之间，所述第一滤波电容(6)设置于所述第三腔体(30)内。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述外壳(2)包括相互间隔设置的第一壳体(21)、第二壳体(22)和第三壳体(23)，所述第一壳体(21)与所述PCB板(1)形成所述第一腔体(10)，所述第二壳体(22)与所述PCB板(1)形成所述第二腔体(20)，所述第三壳体(23)与所述PCB板(1)形成所述第三腔体(30)。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一壳体(21)、所述第二壳体(22)及所述第三壳体(23)均为金属壳。

4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述PCB板(1)呈长方形状，所述第一壳体(21)、所述第三壳体(23)及所述第二壳体(22)沿所述PCB板(1)的长度方向依次间隔排布。

5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一滤波电容(6)及所述ASIC放大器(5)沿所述PCB板(1)的宽度方向依次间隔排布。

6.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一壳体(21)设有一个或多个，当所述第一壳体(21)设有多个时，所述第一MEMS芯片(3)设有多个，多个所述第一壳体(21)与多个所述第一MEMS芯片(3)一一对应，且所述第一MEMS芯片(3)收容于其对应的所述第一壳体(21)中。

7.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一壳体(21)的顶部及所述第二壳体(22)的顶部分别具有通孔(211)。

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括导线，所述ASIC放大器(5)通过所述导线电性连接于所述第一MEMS芯片(3)和所述第二MEMS芯片(4)。

9.根据权利要求8所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述导线嵌设于所述PCB板(1)中。

10.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括设置于所述第三腔体(30)内的第二滤波电容(7)，所述第二滤波电容(7)的一端电性连接于所述ASIC放大器(5)的一个端口，所述第二滤波电容(7)的另一端电性连接于所述ASIC放大器(5)的另一个端口。