[实用新型]一种用于超硬材料的激光抛光系统有效

专利信息
申请号: 202120884340.0 申请日: 2021-04-27
公开(公告)号: CN215545827U 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 陶沙;赵晓杰;秦国双 申请(专利权)人: 英诺激光科技股份有限公司;常州英诺激光科技有限公司
主分类号: B23K26/352 分类号: B23K26/352
代理公司: 深圳市精英专利事务所 44242 代理人: 李燕娥
地址: 518000 广东省深圳市南山区科技*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 材料 激光 抛光 系统
【权利要求书】:

1.一种用于超硬材料的激光抛光系统,其特征在于,包括激光器以及光束处理组件,所述激光器与所述光束处理组件连接,所述光束处理组件输出的激光光束与待抛光样品表面呈一倾斜角,所述倾斜角的角度为0°至90°。

2.根据权利要求1所述的一种用于超硬材料的激光抛光系统,其特征在于,所述激光器发出的激光光束的波长355nm至1064nm。

3.根据权利要求1所述的一种用于超硬材料的激光抛光系统,其特征在于,所述激光器发出的激光光束的脉宽小于10ps。

4.根据权利要求1所述的一种用于超硬材料的激光抛光系统,其特征在于,所述激光器发出的激光光束的脉冲能量大于1uJ。

5.根据权利要求1所述的一种用于超硬材料的激光抛光系统,其特征在于,还包括移动平台,所述移动平台位于所述光束处理组件的下方。

6.根据权利要求1所述的一种用于超硬材料的激光抛光系统,其特征在于,所述光束处理组件包括扩束镜。

7.根据权利要求6所述的一种用于超硬材料的激光抛光系统,其特征在于,所述光束处理组件还包括透镜以及反射镜,所述反射镜与所述扩束镜连接,所述透镜与所述反射镜连接。

8.根据权利要求6所述的一种用于超硬材料的激光抛光系统,其特征在于,所述光束处理组件还包括顺次连接的振镜以及场镜,所述振镜与所述扩束镜连接。

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