[实用新型]一种用于超硬材料的激光抛光系统

说明书

本实用新型实施例公开了一种用于超硬材料的激光抛光系统，包括激光器以及光束处理组件，所述激光器与所述光束处理组件连接，所述光束处理组件输出的激光光束与待抛光样品表面呈一倾斜角，所述倾斜角的角度为0°至90°。本实用新型实施例通过设置激光器以及光束处理组件，光束处理组件输出的激光光束与待抛光样品表面呈一倾斜角，通过设置该倾斜角的数值以及激光器的参数，采用常规设备实现对材料的激光抛光方式，实现快速有效的对超硬材料进行抛光处理，具有抛光速度快，设备损耗低。

技术领域

本实用新型涉及激光抛光系统技术领域，尤其涉及一种用于超硬材料的激光抛光系统及其加工方法。

背景技术

超硬材料如金刚石/钻石、碳化硅等的抛光有很大的市场需求，常规的抛光方式一般为研磨式抛光，配合硬度更强的材料微粉单粒研磨抛光生产；需要经过粗研磨、精研磨、粗抛光、精抛光等多种工序，这些工序所涉及的设备较多也较为复杂，抛光耗时长。

因此，有必要设计一种新的系统，实现快速有效的对超硬材料进行抛光处理，具有抛光速度快，设备损耗低。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于超硬材料的激光抛光系统及其加工方法。

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：提供一种用于超硬材料的激光抛光系统，包括激光器以及光束处理组件，所述激光器与所述光束处理组件连接，所述光束处理组件输出的激光光束与待抛光样品表面呈一倾斜角，所述倾斜角的角度为0°至90°。

其进一步技术方案为：所述激光器发出的激光光束的波长355nm至1064nm。

其进一步技术方案为：所述激光器发出的激光光束的脉宽小于10ps。

其进一步技术方案为：所述激光器发出的激光光束的脉冲能量大于1uJ。

其进一步技术方案为：还包括移动平台，所述移动平台位于所述光束处理组件的下方。

其进一步技术方案为：所述光束处理组件包括扩束镜。

其进一步技术方案为：所述光束处理组件还包括反射镜以及透镜，所述反射镜与所述扩束镜连接，所述透镜与所述反射镜连接。

其进一步技术方案为：所述光束处理组件还包括顺次连接的振镜以及场镜，所述振镜与所述扩束镜连接。

本实用新型与现有技术相比的有益效果是：本实用新型通过设置激光器以及光束处理组件，光束处理组件输出的激光光束与待抛光样品表面呈一倾斜角，通过设置该倾斜角的数值以及激光器的参数，采用常规设备实现对材料的激光抛光方式，实现快速有效的对超硬材料进行抛光处理，具有抛光速度快，设备损耗低。

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步描述。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例一提供的一种用于超硬材料的激光抛光系统的示意性框图。

图2为本实用新型实施例二提供的一种用于超硬材料的激光抛光系统的示意性框图。

图中标识说明：

10、激光器；20、待抛光样品；30、移动平台；40、扩束镜；50、反射镜； 60、透镜；70、振镜；80、场镜。

具体实施方式