[实用新型]一种支撑装置及CVD反应器

说明书

本实用新型实施例公开了一种支撑装置及CVD反应器，涉及产品放置架技术领域。所述支撑装置包括多个支撑柱，多个圆形骨架，第一支撑架以及第二支撑架；多个支撑柱呈圆形布置；多个圆形骨架间隔设置在多个支撑柱上；第一支撑架设置在圆形骨架内，用于支撑产品；第二支撑架设置在支撑柱上，用于固定各支撑柱。本实用新型实施例提出的支撑装置中，多个圆形骨架间隔设置在多个支撑柱上，每个圆形骨架内均设有用于支撑产品的第一支撑架，从而极大提高了空间利用率，使得支撑装置能够放置更多产品。进一步地，圆形骨架稳定性好，并且，通过第二支撑架能够更好固定支撑柱，使得支撑更加稳定，支撑性更好，有助于上下层空间的气流均匀分布。

技术领域

本实用新型涉及产品放置架技术领域，尤其涉及一种支撑装置及CVD反应器。

背景技术

CVD是Chemical Vapor Deposition的简称，是指高温下的气相反应。CVD反应器是指用于进行CVD的反应器。CVD反应器中通常设有放置产品的置物架，现有置物架存在如下缺点：

1、可存放的产品数量少。

2、支撑性及稳定性差。

3、干扰气场平均分布。

4、上下层产品存在气场遮挡等。

实用新型内容

本实用新型实施例所要解决的技术问题是现有CVD反应器的置物架可存放的产品数量少及支撑性及稳定性差的问题。

为了解决上述问题，本实用新型实施例提出如下技术方案：

第一方面，本实用新型实施例提出一种支撑装置，所述支撑装置包括多个支撑柱，多个圆形骨架，第一支撑架以及第二支撑架；多个支撑柱呈圆形布置；多个圆形骨架间隔设置在多个支撑柱上；第一支撑架设置在圆形骨架内，用于支撑产品；第二支撑架设置在支撑柱上，用于固定各支撑柱。

其进一步的技术方案为，所述第一支撑架包括多个第一支撑杆，多个第一支撑杆平行设置，第一支撑杆的两端分别与圆形骨架连接。

其进一步的技术方案为，第一支撑杆的两端分别通过石墨铆钉或者碳碳铆钉与圆形骨架连接。

其进一步的技术方案为，所述第二支撑架包括多个第二支撑杆，多个第二支撑杆交叉设置，第二支撑杆的两端分别与支撑柱连接。

其进一步的技术方案为，第二支撑杆的两端分别通过石墨铆钉或者碳碳铆钉与支撑柱连接。

其进一步的技术方案为，圆形骨架通过石墨铆钉或者碳碳铆钉与支撑柱连接。

其进一步的技术方案为，还包括支撑锥，支撑锥设置在第一支撑架上。

其进一步的技术方案为，第一支撑杆上设置有安装孔，支撑锥固定在安装孔内。

其进一步的技术方案为，支撑锥与安装孔螺纹连接，或者支撑锥与安装孔插接。

第二方面，本实用新型实施例提出一种CVD反应器，所述CVD反应器包括如第一方面所述的支撑装置。

与现有技术相比，本实用新型实施例所能达到的技术效果包括：

本实用新型实施例提出的支撑装置中，多个圆形骨架间隔设置在多个支撑柱上，每个圆形骨架内均设有用于支撑产品的第一支撑架，从而极大提高了空间利用率，使得支撑装置能够放置更多产品。进一步地，圆形骨架稳定性好，并且，通过第二支撑架能够更好固定支撑柱，使得支撑更加稳定，支撑性更好，此外，也有助于上下层空间的气流均匀分布。

附图说明