[实用新型]一种用于脚平面度检查机的轨道夹勾装置有效
申请号: | 202120891446.3 | 申请日: | 2021-04-28 |
公开(公告)号: | CN214956773U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 李庆;许志生 | 申请(专利权)人: | 矽品科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 范丹丹 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 平面 检查 轨道 装置 | ||
1.一种用于脚平面度检查机的轨道夹勾装置,其特征在于:该轨道夹勾装置包括第一固定件、第二固定件、第三固定件、夹勾件、轨道和驱动机构,所述夹勾件联动设置于所述驱动机构的前端,所述驱动机构上设置有用于与夹勾件匹配定位的定位件,所述驱动机构的前端与轨道的一端相匹配固定,所述轨道的另一端与夹勾件相匹配固定,轨道与夹勾件通过连接件连接,夹勾件穿过连接件与轨道连接,
所述夹勾件为一L形结构,包括竖直端与水平端,所述夹勾件的竖直端通过第二固定件与轨道固定匹配,所述夹勾件的竖直端上开设有用于与第二固定件和轨道相匹配的通孔,第二固定件依次穿过夹勾件与轨道实现固定,
所述夹勾件的水平端与定位件通过第四固定件固定匹配,驱动机构运动进而带动轨道沿着水平方向运动,所述驱动机构在动力源的驱动下打开将夹勾件沿着水平方向推动,推动至一定行程,驱动机构关闭,拉动钩子缩回。
2.根据权利要求1所述的一种用于脚平面度检查机的轨道夹勾装置,其特征在于:所述驱动机构为气缸。
3.根据权利要求1所述的一种用于脚平面度检查机的轨道夹勾装置,其特征在于:所述轨道为凹字形结构,所述轨道的一端开设有用于气缸穿设的通孔,所述通孔的一侧设置有连接件,所述气缸的一端依次穿过轨道的一端及连接件实现连接及固定。
4.根据权利要求1所述的一种用于脚平面度检查机的轨道夹勾装置,其特征在于:所述定位件为一U形结构,所述定位件的中部间隙的宽度等于夹勾件的宽度。
5.根据权利要求4所述的一种用于脚平面度检查机的轨道夹勾装置,其特征在于:所述定位件的两侧均开设有用于第四固定件开设的通孔,所述第四固定件依次穿过定位件和夹勾件实现固定匹配。
6.根据权利要求1所述的一种用于脚平面度检查机的轨道夹勾装置,其特征在于:所述定位件的顶端为半圆形。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造