[实用新型]一种自动出料型晶圆冲洗真空干燥机

权利要求书

1.一种自动出料型晶圆冲洗真空干燥机，其特征在于：包括：固定腔体（1）、转子（2）、晶圆盒（3）、伺服电机（4）和至少一个取料机构（5），其中，所述固定腔体（1）包括氮气干燥装置（11）、喷水装置（12）、抽真空机构（13）和静电消除器（14），所述氮气干燥装置（11）设于腔体（1）上的氮气喷口（101），所述喷水装置（12）设于腔体（1）上的喷水口（102），所述抽真空机构（13）与腔体（1）的抽气口连接，所述静电消除器（14）设于腔体（1）的表面；

所述转子（2）设于固定腔体（1）的内部，所述晶圆盒（3）设于转子（2）内，所述伺服电机（4）设于固定腔体（1）的一侧，且所述伺服电机（4）的输出端与转子（2）连接，所述取料机构（5）设于固定腔体（1）的一侧，所述转子（2）靠近取料机构（5）的一端设于至少一个穿孔（21），所述取料机构（5）与穿孔（21）以及晶圆盒（3）相配合。

2.根据权利要求1所述的自动出料型晶圆冲洗真空干燥机，其特征在于：所述取料机构（5）包括推出机构（51）或者拉出机构（52）。

3.根据权利要求2所述的自动出料型晶圆冲洗真空干燥机，其特征在于：所述推出机构（51）包括推出气缸（511）和驱动管（512），所述推出气缸（511）设于固定腔体（1）的一侧，所述驱动管（512）与推出气缸（511）的驱动活塞连接。

4.根据权利要求3所述的自动出料型晶圆冲洗真空干燥机，其特征在于：所述驱动管（512）采用焊接波纹管；所述焊接波纹管的远离推出机构（51）的一端设于橡胶垫（53）。

5.根据权利要求2所述的自动出料型晶圆冲洗真空干燥机，其特征在于：所述拉出机构（52）包括拉出驱动机构（521）和拉杆（522），所述拉出驱动机构（521）设于固定腔体（1）的出料端，所述拉杆（522）设于拉出驱动机构（521）的输出端，所述拉杆（522）远离拉出驱动机构（521）的一端设有吸盘（523），且所述吸盘（523）与晶圆盒（3）相配合。

6.根据权利要求5所述的自动出料型晶圆冲洗真空干燥机，其特征在于：所述拉出驱动机构（521）采用气缸或者电缸。

7.根据权利要求1所述的自动出料型晶圆冲洗真空干燥机，其特征在于：所述固定腔体（1）包括氮气干燥装置（11）、喷水装置（12）、抽真空机构（13）和静电消除器（14），所述氮气干燥装置（11）设于腔体（1）上的氮气喷口（101），所述喷水装置（12）设于腔体（1）上的喷水口（102），所述抽真空机构（13）与腔体（1）的抽气口连接，所述静电消除器（14）设于腔体（1）的表面。

8.根据权利要求1所述的自动出料型晶圆冲洗真空干燥机，其特征在于：所述氮气干燥装置（11）包括电加热管（111）和供气管（112），所述电加热管（111）与氮气喷口（101）连接，所述供气管（112）的一端与电加热管（111）连接，且所述供气管（112）上设有第一截止阀（113）；

所述喷水装置（12）包括供水管（121），所述供水管（121）与喷水口（102）连接，且所述供水管（121）上设有第二截止阀（122）；

所述抽真空机构（13）包括抽气管道（131）和真空泵（132），所述抽气管道（131）一端与抽气口连接，另一端与真空泵（132）连接，且所述抽气管道（131）上设有第三截止阀（133）。

9.根据权利要求1所述的自动出料型晶圆冲洗真空干燥机，其特征在于：所述固定腔体（1）的一侧还设有排水口（15）；

所述排水口（15）处设有排水管（151），所述排水管（151）上设有第四截止阀（152）。

10.根据权利要求1所述的自动出料型晶圆冲洗真空干燥机，其特征在于：所述伺服电机（4）的外侧设有电机保护罩（41），所述电机保护罩（41）与腔体外壳连接。