[实用新型]一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统

权利要求书

1.一种冷却收尘装置，其特征在于，包括封闭腔体、折行挡板和水冷挡板；

所述封闭腔体的侧壁底端开设有进气口，所述进气口与气相沉淀炉的排气口导通连接；

所述封闭腔体的侧壁顶端开设有出气口，所述出气口与真空系统的入口导通连接；

所述水冷挡板和所述折行挡板沿着所述进气口到所述出气口的方向依次交错设置在所述封闭腔体内，所述水冷挡板内设有水冷通道，所述封闭腔体的腔体壁内设置有水冷夹层。

2.根据权利要求1所述的冷却收尘装置，其特征在于，所述折行挡板的个数为多个，且所述折行挡板间交错设置。

3.根据权利要求1所述的冷却收尘装置，其特征在于，还包括收尘盒；

所述收尘盒密封可拆卸安装在所述封闭腔体的底端开口处，用于收集沉淀下来的灰尘。

4.根据权利要求3所述的冷却收尘装置，其特征在于，还包括封闭顶盖；

所述封闭顶盖密封可拆卸安装在所述封闭腔体的顶端开口处。

5.根据权利要求4所述的冷却收尘装置，其特征在于，还包括进水冷管和出水冷管；

所述进水冷管和所述出水冷管均安装在所述封闭顶盖上，且所述进水冷管与所述水冷挡板的进水口导通连接，所述出水冷管与所述水冷挡板的出水口导通连接。

6.根据权利要求5所述的冷却收尘装置，其特征在于，所述水冷挡板和所述折行挡板均固定在所述进水冷管和所述出水冷管上。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的冷却收尘装置，其特征在于，所述水冷夹层的底端开设有冷水进口，所述水冷夹层的顶端开设有冷水出口。

8.根据权利要求4-6中任意一项所述的冷却收尘装置，其特征在于，所述收尘盒通过法兰与所述封闭腔体的底端开口可拆卸连接；

所述封闭顶盖为法兰。

9.一种气相沉积炉系统，其特征在于，包括气相沉淀炉、真空系统和如权利要求1-8中任意一项所述的冷却收尘装置；

所述气相沉淀炉的排气口与所述冷却收尘装置的进气口导通连接，所述真空系统的入口与所述冷却收尘装置的出气口导通连接。

10.根据权利要求9所述的气相沉积炉系统，其特征在于，所述真空系统包括泵组、真空管道和电磁阀；

所述泵组与所述真空管道的一端导通连接，所述真空管道的另一端与所述冷却收尘装置的出气口导通连接，所述电磁阀安装在所述真空管道上。