[实用新型]一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统

说明书

本实用新型公开了一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统，冷却收尘装置包括封闭腔体、折行挡板和水冷挡板；封闭腔体的侧壁底端开设有进气口，进气口与气相沉淀炉的排气口导通连接；封闭腔体的侧壁顶端开设有出气口，出气口与真空系统的入口导通连接；水冷挡板和折行挡板沿着进气口到出气口的方向依次交错设置在封闭腔体内，水冷挡板内设有水冷通道，封闭腔体的腔体壁内设置有水冷夹层。真空系统启动，将气相沉淀炉排出的高温气体泵出，高温气体在经过封闭腔体内时，与内部带有水冷的水冷挡板接触，打散，再与封闭腔体的水冷夹层相互接触，可以快速将气体温度冷却下来，通过折行挡板，形成的粉末沉降下来而不会带到真空系统，保护了真空系统。

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，尤其是涉及一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统。

背景技术

制备氮化硼制品的工艺需要使用到气相沉积炉，以NH3、BCl3为原料气体，在高温情况下，热解生成氮化硼材料。整个合成系统包含了：供气系统、反应系统、水冷系统、真空系统和收尘系统等。制备过程NH3、BCl3采用了一定配比，热解生成的部分氮化硼和副产物NH4Cl被真空系统抽走，进入真空系统，造成真空系统的损坏。

因此，如何减少进入真空系统中的灰尘是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的第一个目的是提供一种冷却收尘装置，能够减少进入真空系统中的灰尘。

本实用新型的第二个目的是提供一种气相沉积炉系统。

为了实现上述第一个目的，本实用新型提供了如下方案：

一种冷却收尘装置，包括封闭腔体、折行挡板和水冷挡板；

所述封闭腔体的侧壁底端开设有进气口，所述进气口与气相沉淀炉的排气口导通连接；

所述封闭腔体的侧壁顶端开设有出气口，所述出气口与真空系统的入口导通连接；

所述水冷挡板和所述折行挡板沿着所述进气口到所述出气口的方向依次交错设置在所述封闭腔体内，所述水冷挡板内设有水冷通道，所述封闭腔体的腔体壁内设置有水冷夹层。

在一个具体的实施方案中，所述折行挡板的个数为多个，且所述折行挡板间交错设置。

在另一个具体的实施方案中，所述冷却收尘装置还包括收尘盒；

所述收尘盒密封可拆卸安装在所述封闭腔体的底端开口处，用于收集沉淀下来的灰尘。

在另一个具体的实施方案中，所述冷却收尘装置还包括封闭顶盖；

所述封闭顶盖密封可拆卸安装在所述封闭腔体的顶端开口处。

在另一个具体的实施方案中，所述冷却收尘装置还包括进水冷管和出水冷管；

所述进水冷管和所述出水冷管均安装在所述封闭顶盖上，且所述进水冷管与所述水冷挡板的进水口导通连接，所述出水冷管与所述水冷挡板的出水口导通连接。

在另一个具体的实施方案中，所述水冷挡板和所述折行挡板均固定在所述进水冷管和所述出水冷管上。

在另一个具体的实施方案中，所述水冷夹层的底端开设有冷水进口，所述水冷夹层的顶端开设有冷水出口。

在另一个具体的实施方案中，所述收尘盒通过法兰与所述封闭腔体的底端开口可拆卸连接；

所述封闭顶盖为法兰。

根据本实用新型的各个实施方案可以根据需要任意组合，这些组合之后所得的实施方案也在本实用新型范围内，是本实用新型具体实施方式的一部分。