[实用新型]一种扩散炉用扰流装置有效
| 申请号： | 202120909439.1 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN215481425U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 徐爱民;顾标琴 | 申请（专利权）人： | 江苏扬杰润奥半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;C30B31/18;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京源点知识产权代理有限公司 32545 | 代理人： | 黄启兵 |
| 地址： | 225000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 炉用扰流 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种扩散炉用扰流装置，其特征在于，包括：迎风板，所述迎风板上周向间隔布置有若干进气孔；
背风板，所述背风板上周向间隔设置有若干出气孔，所述出气孔半径小于所述进气孔；
连接杆，所述连接杆连接所述迎风板和所述背风板。
2.根据权利要求1所述的扩散炉用扰流装置，其特征在于，任一所述进气孔轴心线异于任一所述出气孔轴心线。
3.根据权利要求1所述的扩散炉用扰流装置，其特征在于，所述出气孔周向均匀间隔设置形成一环形出气孔组，沿所述背风板径向设置有若干圈出气孔组。
4.根据权利要求3所述的扩散炉用扰流装置，其特征在于，外侧所述出气孔组中出气孔数量不小于相邻内侧所述出气孔组中出气孔数量。
5.根据权利要求3所述的扩散炉用扰流装置，其特征在于，若干环形所述出气孔组半径沿所述背风板径向从外向内逐渐递减。
6.根据权利要求1所述的扩散炉用扰流装置，其特征在于，所述连接杆包括轴向相互嵌套连接的连杆一和连杆二，所述连杆一连接所述迎风板，所述连杆二连接所述背风板。
7.根据权利要求1所述的扩散炉用扰流装置，其特征在于，所述连接杆至少设置为三根，三根所述连接杆周向均匀间隔设置。
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