[实用新型]自反馈调节的高稳定紫外脉冲激光器

权利要求书

1.一种自反馈调节的高稳定紫外脉冲激光器，其特征在于，包括泵浦源、腔镜、45°反射镜、光电探测器、频率转换器及压电陶瓷自反射镜；

所述腔镜、所述45°反射镜和所述光电探测器依次设置在所述泵浦源发出的泵浦光的传播方向；

所述频率转换器及所述压电陶瓷自反射镜依次设置在所述45°反射镜的反射光射出方向上；

所述光电探测器与所述压电陶瓷自反射镜电性连接，所述光电探测器用于检测泵浦光的脉冲幅值并提供给所述压电陶瓷自反射镜，所述压电陶瓷自反射镜用于根据脉冲幅值的变化自动调节反射角度以使得调节后的脉冲幅值变化最小。

2.根据权利要求1所述的高稳定紫外脉冲激光器，其特征在于，所述泵浦源、所述腔镜、所述45°反射镜和所述压电陶瓷自反射镜组成激光谐振腔。

3.根据权利要求1所述的高稳定紫外脉冲激光器，其特征在于，所述45°反射镜包括用于对近红外光高反的第一45°反射镜和用于对近红外光高反并对紫外光高透的第二45°反射镜。

4.根据权利要求3所述的高稳定紫外脉冲激光器，其特征在于，所述光电探测器设置在所述第一45°反射镜的反射面的背面。

5.根据权利要求3所述的高稳定紫外脉冲激光器，其特征在于，所述频率转换器及所述压电陶瓷自反射镜依次设置在所述第二45°反射镜的反射光射出方向上。

6.根据权利要求3所述的高稳定紫外脉冲激光器，其特征在于，所述第一45°反射镜的反射表面镀有对波长1050nm~1080nm的近红外光的反射率大于99.7%的高反膜，所述第二45°反射镜的反射表面镀有对波长1050nm~1080nm的近红外光的反射率大于99.7%的高反膜及对波长340nm~370nm的紫外光的透光率大于99%的高透膜。

7.根据权利要求1所述的高稳定紫外脉冲激光器，其特征在于，所述频率转换器包括二倍频率转换器和三倍频转换器，所述二倍频率转换器用于将近红外光进行二倍频转换成可见绿光，所述三倍频转换器用于将可见绿光与近红光进行和频后获得紫外激光。

8.根据权利要求7所述的高稳定紫外脉冲激光器，其特征在于，所述二倍频率转换器、所述三倍频转换器和所述压电陶瓷自反射镜的表面均镀有对1050nm~1080nm的近红外波长、510~550nm的绿光及340nm~370nm的紫外光的透光率均大于99%的高透膜。

9.根据权利要求1-8任何一项所述的高稳定紫外脉冲激光器，其特征在于，所述泵浦源由光纤耦合半导体激光器、第一凸透镜、第二凸透镜和激光晶体组成；所述第一凸透镜用于将所述光纤耦合半导体激光器输出的泵浦光经准直成平行光；所述第二凸透镜用于将平行光会聚耦合进所述激光晶体，所述激光晶体用于吸收泵浦光以存储激光能量。

10.根据权利要求9所述的高稳定紫外脉冲激光器，其特征在于，所述第一凸透镜的焦距是所述第二凸透镜的2~3倍，且所述激光晶体离所述第二凸透镜较远一端设有1°~5°的斜角。