[实用新型]自反馈调节的高稳定紫外脉冲激光器

说明书

本实用新型提出一种自反馈调节的高稳定紫外脉冲激光器，包括泵浦源、腔镜、45°反射镜、光电探测器、频率转换器及压电陶瓷自反射镜；所述腔镜、所述45°反射镜和所述光电探测器依次设置在所述泵浦源发出的泵浦光的传播方向；所述频率转换器及所述压电陶瓷自反射镜依次设置在所述45°反射镜的反射光射出方向上；所述光电探测器与所述压电陶瓷自反射镜电性连接，由所述光电探测器检测泵浦光的脉冲幅值并提供给所述压电陶瓷自反射镜，所述压电陶瓷自反射镜根据脉冲幅值的变化自动调节反射角度以使得调节后的脉冲幅值变化最小。激光器的结构简单，能够稳定可靠的输出紫外脉冲激光。

技术领域

本实用新型属于激光器技术领域，尤其涉及一种自反馈调节的高稳定紫外脉冲激光器。

背景技术

本部分提供的仅仅是与本申请相关的背景信息以方便本领域的技术人员能够更透彻、准确的理解本申请，其并不必然是现有技术。

全固态紫外脉冲激光器已逐渐成为微精细钻孔等微电子加工的最理想激光源，在电子元件封装、高密度激光光盘存储技术、超大规模集成电路芯片的紫外光刻、清洗绘画作品、超高密度光驱、保密通讯、激光核聚变等领域被广泛应用，因而在数码产业、电子工业、医疗器械、航空航天及科学研究等众多领域都具有广阔应用前景。

紫外脉冲激光器的激光谐振腔受环境温度、激光晶体的能级寿命等影响，输出激光脉冲能量的抖动增大，特别是在高重频下，紫外脉冲激光器输出的每个激光脉冲能量很难保证完全的一致性。这使得利用紫外脉冲激光器加工过程中，由于紫外脉冲激光器输出的激光脉冲能量的抖动，会导致加工材料的加工面上表面粗糙度不一，增大了加工产品的劣品率，从而带来生产损失，限制了紫外脉冲激光器在高精度加工的应用。

为了减少或降低紫外脉冲激光器输出激光脉冲能量的抖动，现有技术采用电机控制激光镜进行反馈调节来提高激光脉冲输出的稳定性。然而，电机控制的精度有限，导致激光脉冲输出的稳定性并不理想，同时电机运动过程中产生振动，在长期运行中会导致激光器的功率逐渐下降。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种自反馈调节的高稳定紫外脉冲激光器，结构简单，能够稳定可靠的输出紫外脉冲激光。

本实用新型提出一种自反馈调节的高稳定紫外脉冲激光器，包括泵浦源、腔镜、45°反射镜、光电探测器、频率转换器及压电陶瓷自反射镜；所述腔镜、所述45°反射镜和所述光电探测器依次设置在所述泵浦源发出的泵浦光的传播方向；所述频率转换器及所述压电陶瓷自反射镜依次设置在所述45°反射镜的反射光射出方向上；所述光电探测器与所述压电陶瓷自反射镜电性连接，所述光电探测器用于检测泵浦光的脉冲幅值并提供给所述压电陶瓷自反射镜，所述压电陶瓷自反射镜用于根据脉冲幅值的变化自动调节反射角度以使得调节后的脉冲幅值变化最小。

在一个优选实施例中，所述泵浦源、所述腔镜、所述45°反射镜和所述压电陶瓷自反射镜组成激光谐振腔。

在一个优选实施例中，所述45°反射镜包括用于对近红外光高反的第一45°反射镜和用于对近红外光高反并对紫外光高透的第二45°反射镜。

在一个优选实施例中，所述光电探测器设置在所述第一45°反射镜的反射面的背面。

在一个优选实施例中，所述频率转换器及所述压电陶瓷自反射镜依次设置在所述第二45°反射镜的反射光射出方向上。

在一个优选实施例中，所述第一45°反射镜的反射表面镀有对波长1050nm~1080nm的近红外光的反射率大于99.7%的高反膜，所述第二45°反射镜的反射表面镀有对波长1050nm~1080nm的近红外光的反射率大于99.7%的高反膜及对波长340nm~370nm的紫外光的透光率大于99%的高透膜。