[实用新型]一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置

权利要求书

1.一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置，其特征在于，所述去边装置包括支架，喷嘴装置和弹性部件，所述喷嘴装置可滑动地安装在所述支架上，所述喷嘴装置包括喷嘴和设置在所述喷嘴上用于抵接在晶圆侧面的抵接部，所述弹性部件的一端连接在所述支架上，另一端抵顶在所述抵接部上。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置，其特征在于，所述去边装置的一侧还设有固定座，所述固定座上设置有可安装所述晶圆的转盘和能驱动所述转盘转动的电机。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置，其特征在于，所述去边装置还包括设置在所述支架的底部的底座，所述支架可转动地设置在所述底座上，所述底座上设有可以在支架转动预定角度后将所述支架固定住的调整装置。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置，其特征在于，所述调整装置包括设置在所述底座内的旋转电机，所述旋转电机的输出端与所述支架底部相连并且能够带动所述支架转动。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置，其特征在于，所述调整装置还包括设置在所述底座的顶部的第一磁石和设置在所述支架的底部的第二磁石，所述第二磁石在所述支架的转动下与所述第一磁石相接触并且与所述第一磁石相吸合固定。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置，其特征在于，所述喷嘴装置包括第一喷嘴和第二喷嘴，所述第一喷嘴对应设置在所述晶圆的上方，所述第二喷嘴对应设置在所述晶圆的下方。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置，其特征在于，所述第一喷嘴包括第一喷头和连接在所述第一喷头上的第一管体，所述第二喷嘴包括第二喷头和连接在所述第二喷头上的第二管体，所述第一管体和所述第二管体可沿水平方向移动地设置在所述支架上。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置，其特征在于，所述抵接部为喷嘴连杆，所述喷嘴连杆的上端与第一管体连接，所述喷嘴连杆的下端与所述第二管体连接。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置，其特征在于，所述喷嘴连杆靠近所述晶圆的一端还设有厚度小于所述晶圆的定位块。

10.根据权利要求5所述的一种晶圆涂胶后平边和圆边的去边装置，其特征在于，所述转盘为吸盘式转盘，所述弹性部件为弹簧。