[实用新型]一种晶圆去胶机便于安装的滤芯有效
| 申请号： | 202120919296.2 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN214861721U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 涂辉 | 申请（专利权）人： | 谷微半导体科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | B01D35/02 | 分类号： | B01D35/02;B01D29/11;B01D29/96;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市开发区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆去胶机 便于 安装 | ||
1.一种晶圆去胶机便于安装的滤芯，包括滤芯本体(1)，其特征在于：所述滤芯本体(1)的一侧活动连接有铰链(2)，所述滤芯本体(1)的一侧通过铰链(2)活动连接有顶盖(3)，所述顶盖(3)一侧固定连接有固定块(4)，所述固定块(4)的一侧开设有螺纹孔(5)，所述螺纹孔(5)的内部活动连接有螺栓组件(6)，所述顶盖(3)的内壁开设有卡接球槽(7)，所述顶盖(3)的内部活动连接有第一连接头(8)，所述第一连接头(8)的表面设置有卡接滚球(9)，所述第一连接头(8)的一端固定连接有进水管(10)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机便于安装的滤芯，其特征在于：所述顶盖(3)的另一端开设有进水口(11)，所述顶盖(3)的另一端固定连接有密封垫(12)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机便于安装的滤芯，其特征在于：所述滤芯本体(1)的一端固定连接有连接架(13)，所述连接架(13)的上表面固定连接有连接环(14)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机便于安装的滤芯，其特征在于：所述滤芯本体(1)的表面固定连接有固定板(15)，所述固定板(15)的表面固定连接有固定软垫(16)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机便于安装的滤芯，其特征在于：所述滤芯本体(1)的另一端固定连接有连接座(17)，所述连接座(17)的一端开设有连接槽(18)。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆去胶机便于安装的滤芯，其特征在于：所述连接槽(18)的内部活动连接有第二连接头(19)，所述第二连接头(19)的一端固定连接有出水管(20)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于谷微半导体科技（江苏）有限公司，未经谷微半导体科技（江苏）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120919296.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种激光切割平台用工件定位装置
- 下一篇：一种组合式激光切割工作台
