[实用新型]一种晶圆去胶机便于安装的滤芯

说明书

本实用新型涉及半导体清洗设备领域，具体为一种晶圆去胶机便于安装的滤芯，包括滤芯本体、铰链、顶盖和固定块，所述固定块的一侧开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部活动连接有螺栓组件，所述顶盖的内壁开设有卡接球槽，所述顶盖的内部活动连接有第一连接头，所述第一连接头的表面设置有卡接滚球。通过设置的顶盖、卡接球槽、第一连接头、卡接滚球、进水管、连接座、连接槽、第二连接头和出水管可以实现对滤芯设备整体的快速拆卸与安装，在实际的使用过程中，工作首先将进水管通过第一连接头与顶盖进行快速的连接操作，在安装时，第一连接头上的卡接滚球会直接与顶盖内壁的卡接球槽进行稳定的卡合操作。

技术领域

本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域，具体为一种晶圆去胶机便于安装的滤芯。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种，物质存在的形式多种多样，固体、液体、气体、等离子体等等，我们通常把导电性差的材料，如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体，而把导电性比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体，可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称为半导体，与导体和绝缘体相比，半导体材料的发现是最晚的。

硅片清洗对半导体工业的重要性早在50年代初就已引起人们的高度重视，这是因为硅片表面的污染物会严重影响器件的性能、可靠性、和成品率，随着微电子技术的飞速发展以及人们对原料要求的提高，污染物对器件的影响也愈加突出，此时就需要使用到专业的硅片清洗设备对硅片进行清洗工作，清洗设备首先需要使用到滤芯对，清洗水源进行彻底的过滤，保证清洗的水为纯净水标准，才能更好的实现对硅片的清洗工作，但现有的硅片用清洗设备在实际的使用过程过程中，存在滤芯更换繁琐的现象，在实际的使用过程中难以完成对滤芯的快速更换操作，不利于日常的使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆去胶机便于安装的滤芯，以解决上述背景技术中提出清洗设备首先需要使用到滤芯对，清洗水源进行彻底的过滤，保证清洗的水为纯净水标准，才能更好的实现对硅片的清洗工作，但现有的硅片用清洗设备在实际的使用过程过程中，存在滤芯更换繁琐的现象，在实际的使用过程中难以完成对滤芯的快速更换操作，不利于日常的使用的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案，一种晶圆去胶机便于安装的滤芯，包括滤芯本体，所述滤芯本体的一侧活动连接有铰链，所述滤芯本体的一侧通过铰链活动连接有顶盖，所述顶盖一侧固定连接有固定块，所述固定块的一侧开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部活动连接有螺栓组件，所述顶盖的内壁开设有卡接球槽，所述顶盖的内部活动连接有第一连接头，所述第一连接头的表面设置有卡接滚球，所述第一连接头的一端固定连接有进水管。

优选的，所述顶盖的另一端开设有进水口，所述顶盖的另一端固定连接有密封垫。

优选的，所述滤芯本体的一端固定连接有连接架，所述连接架的上表面固定连接有连接环。

优选的，所述滤芯本体的表面固定连接有固定板，所述固定板的表面固定连接有固定软垫。

优选的，所述滤芯本体的另一端固定连接有连接座，所述连接座的一端开设有连接槽。

优选的，所述连接槽的内部活动连接有第二连接头，所述第二连接头的一端固定连接有出水管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：