[实用新型]一种平面靶材专用离子镀膜装置

权利要求书

1.一种平面靶材专用离子镀膜装置，包括镀膜反应箱（1），其特征在于：所述镀膜反应箱（1）的一侧设有上料口（2），所述上料口（2）上设有电磁门锁（3），所述上料口（2）的上下两条边上设有多个电磁锁孔（21），多个所述电磁锁孔（21）内均设有电磁线圈（22），所述上料口（2）的边缘设有一圈第一密封圈（23），所述电磁门锁（3）的内侧边缘设有一圈第二密封圈（31），所述第一密封圈（23）与第二密封圈（31）相互匹配，所述电磁门锁（3）的上下两条边上设有多个电磁锁槽（32），所述电磁锁槽（32）里设有复位弹簧（33），所述复位弹簧（33）连接着活动锁头（34），所述活动锁头（34）由磁铁制成，所述活动锁头（34）嵌于电磁锁槽（32）内，所述活动锁头（34）的大小与电磁锁孔（21）相匹配，所述电磁门锁（3）的外侧设有把手（35）；

所述镀膜反应箱（1）的内部的上端设有阴极固定机构（4），所述镀膜反应箱（1）的内部的下端设有离子发生阳极机构（5），所述镀膜反应箱（1）外侧的底部设有真空泵（6），所述真空泵（6）通过真空管道（61）连接镀膜反应箱（1）内部。

2.根据权利要求1所述的一种平面靶材专用离子镀膜装置，其特征在于：所述阴极固定机构（4）包括固定杆（41），所述固定杆（41）的一端固定在镀膜反应箱（1）的上侧内壁，所述固定杆（41）的另一端连接着阴极固定座（42），所述阴极固定座（42）的两侧设有支撑板（43），一侧所述支撑板（43）上设有靶材固定块（44），另一侧所述支撑板（43）上设有导向轴承（45），所述导向轴承（45）的一端设有顶针（46），所述顶针（46）与靶材固定块（44）相对，且在同一水平线上，所述导向轴承（45）的另一端连接气缸（47），所述气缸（47）固定在支撑板（43）外侧。

3.根据权利要求1所述的一种平面靶材专用离子镀膜装置，其特征在于：所述离子发生阳极机构（5）包括支撑柱（51），所述支撑柱（51）底部固定在镀膜反应箱（1）下侧内壁，所述支撑柱（51）顶部固定有阳极坩埚（52），所述阳极坩埚（52）内部设有托盘（53），所述托盘（53）下端连接旋转盘（54），所述旋转盘（54）连接小型旋转电机（55），所述小型旋转电机（55）设置在阳极坩埚（52）下端外壁上，所述阳极坩埚（52）的上端设有离子离散发生网板（56），所述离子离散发生网板（56）上设有阳极棒（57），所述阳极坩埚（52）内壁上设有多个小型加热棒（58）。

4.根据权利要求1所述的一种平面靶材专用离子镀膜装置，其特征在于：所述镀膜反应箱（1）的内壁设有多个大型加热棒（11）。

5.根据权利要求1所述的一种平面靶材专用离子镀膜装置，其特征在于：所述电磁线圈（22）、真空泵（6）、气缸（47）、小型旋转电机（55）、小型加热棒（58）和大型加热棒（11）均通过信号线连接总控制器。