[实用新型]一种平面靶材专用离子镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种平面靶材专用离子镀膜装置，包括镀膜反应箱，所述镀膜反应箱的一侧设有上料口，所述上料口上设有电磁门锁，所述电磁门锁的外侧设有把手，所述镀膜反应箱的内部的上端设有阴极固定机构，所述镀膜反应箱的内部的下端设有离子发生阳极机构，所述镀膜反应箱外侧的底部设有真空泵，所述真空泵通过真空管道连接镀膜反应箱内部，本实用新型结构简单，设计新颖，特设的电磁门锁能够将上料口进行密封，有效的提高了离子镀膜装置在工作过程中密封性能，从而杜绝了镀膜前驱物逸散于大气中，而造成镀膜前驱物浪费。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工技术领域，具体为一种平面靶材专用离子镀膜装置。

背景技术

靶材被广泛的使用于航空及航宇工业中，如各种飞机、导弹、卫星、飞船的靶材零部件，经常在复杂而有害的条件下工作，均受着大气、水份、灰尘以及燃料燃烧生成物中所含的化学活性气体的直接腐蚀，因此需要对靶材进行镀膜，来增加其使用寿命。

目前一般采用离子镀膜装置来对靶材进行镀膜，但是现有的离子镀膜装置密封性能较差，仅容易造成镀膜前驱物逸散于大气中，而造成镀膜前驱物浪费，以及镀膜用的离子原料受热不均匀，还会导致其所生成的镀膜前驱物与等离子混合时间过短，而造成镀膜前驱物与等离子混合不均的问题，进而导致薄膜品质不佳。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种平面靶材专用离子镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种平面靶材专用离子镀膜装置，包括镀膜反应箱，所述镀膜反应箱的一侧设有上料口，所述上料口上设有电磁门锁，所述上料口的上下两条边上设有多个电磁锁孔，多个所述电磁锁孔内均设有电磁线圈，所述上料口边缘设有一圈第一密封圈，所述电磁门锁的内侧边缘设有一圈第二密封圈，所述第一密封圈与第二密封圈相互匹配，所述电磁门锁的上下两条边上设有多个电磁锁槽，所述电磁锁槽里设有复位弹簧，所述复位弹簧连接着活动锁头，所述活动锁头由磁铁制成，所述活动锁头嵌于电磁锁槽内，所述活动锁头的大小与电磁锁孔相匹配，所述电磁门锁的外侧设有把手；

所述镀膜反应箱的内部的上端设有阴极固定机构，所述镀膜反应箱的内部的下端设有离子发生阳极机构，所述镀膜反应箱外侧的底部设有真空泵，所述真空泵通过真空管道连接镀膜反应箱内部。

优选的，所述阴极固定机构包括固定杆，所述固定杆的一端固定在镀膜反应箱的上侧内壁，所述固定杆的另一端连接着阴极固定座，所述阴极固定座的两侧设有支撑板，一侧所述支撑板上设有靶材固定块，另一侧所述支撑板上设有导向轴承，所述导向轴承的一端设有顶针，所述顶针与靶材固定块相对，且在同一水平线上，所述导向轴承的另一端连接气缸，所述气缸固定在支撑板外侧。

优选的，所述离子发生阳极机构包括支撑柱，所述支撑柱底部固定在镀膜反应箱下侧内壁，所述支撑柱顶部固定有阳极坩埚，所述阳极坩埚内部设有托盘，所述托盘下端连接旋转盘，所述旋转盘连接小型旋转电机，所述小型旋转电机设置在阳极坩埚下端外壁上，所述阳极坩埚的上端设有离子离散发生网板，所述离子离散发生网板上设有阳极棒，所述阳极坩埚内壁上设有多个小型加热棒。

优选的，所述镀膜反应箱的内壁设有多个大型加热棒。

优选的，所述电磁线圈、真空泵、气缸、小型旋转电机、小型加热棒和大型加热棒均通过信号线连接总控制器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，特设的电磁门锁能够将上料口进行密封，有效的提高了离子镀膜装置在工作过程中密封性能，从而杜绝了镀膜前驱物逸散于大气中，而造成镀膜前驱物浪费；特设的旋转盘能够带动托盘进行旋转，有效的提高了镀膜用的离子原料的受热均匀性，从而使得其所生成的镀膜前驱物与等离子能够更加均匀的进行混合，从而有效的提高了整个镀膜的精度。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型上料口结构示意图；