[实用新型]一种平面溅射靶材有效
| 申请号： | 202120932884.X | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN214830635U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 王雷;田伟 | 申请（专利权）人： | 南通安泰新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京纽盟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11456 | 代理人： | 许玉顺 |
| 地址： | 226000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平面 溅射 | ||
【权利要求书】：
1.一种平面溅射靶材，包括主板（1），其特征在于：所述主板（1）的两侧设有延伸板（2），两侧所述延伸板（2）的侧边设有长条形凹槽（21），所述长条形凹槽（21）内设有多个伸缩杆（22），多个所述伸缩杆（22）均连接着安装板（3）的底部，所述安装板（3）嵌于凹槽（21）内，多个所述伸缩杆（22）上均套有弹簧（23），所述弹簧（23）的两端分别固定在凹槽（21）底部和安装板（3）底部，所述安装板（3）上设有多个安装孔（31）。
2.根据权利要求1所述的一种平面溅射靶材，其特征在于：所述主板（1）上设有背板（4），所述背板（4）的两侧设有多个加强筋（41），多个所述加强筋均（41）呈倾斜状连接着主板（1）的侧边，所述加强筋（41）下方所对应的主板（1）处设有弧形水槽（11）。
3.根据权利要求1所述的一种平面溅射靶材，其特征在于：所述主板（1）和背板（4）上均设有一层耐磨层，所述耐磨层上还设有一层防腐层。
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