[实用新型]一种平面溅射靶材

说明书

本实用新型公开了一种平面溅射靶材，包括主板，所述主板的两侧设有延伸板，两侧所述延伸板的侧边设有长条形凹槽，所述长条形凹槽内设有多个伸缩杆，多个所述伸缩杆均连接着安装板的底部，所述安装板嵌于凹槽内，多个所述伸缩杆上均套有弹簧，所述弹簧的两端分别固定在凹槽底部和安装板底部，所述安装板上设有多个安装孔；本实用新型结构简单，设计新颖，特设的安装板能够方便快捷的将平面溅射靶材装配至溅射基台，特设的延伸板能够将安装板进行拉伸，已用于匹配不同大小的溅射基台。

技术领域

本实用新型涉及靶材技术领域，具体为一种平面溅射靶材。

背景技术

传统的溅射靶材不便于进行安装固定，安装固定时需要耗费较多的时间和精力，稳定性较差，而且传统的溅射靶材抗压性能较差，在使用时通常采用持续的高压冷却水冲击背板，高压冷却水在靶材与背板间造成较大的压力差，导致背板容易损坏，使用寿命短的缺点，因此有必要对其进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种平面溅射靶材，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种平面溅射靶材，包括主板，所述主板的两侧设有延伸板，两侧所述延伸板的侧边设有长条形凹槽，所述长条形凹槽内设有多个伸缩杆，多个所述伸缩杆均连接着安装板的底部，所述安装板嵌于凹槽内，多个所述伸缩杆上均套有弹簧，所述弹簧的两端分别固定在凹槽底部和安装板底部，所述安装板上设有多个安装孔。

优选的，所述主板上设有背板，所述背板的两侧设有多个加强筋，多个所述加强筋均呈倾斜状连接着主板的侧边，所述加强筋下方所对应的主板处设有弧形水槽。

优选的，所述主板和背板上均设有一层耐磨层，所述耐磨层上还设有一层防防腐层。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，特设的安装板能够方便快捷的将平面溅射靶材装配至溅射基台，特设的延伸板能够将安装板进行拉伸，已用于匹配不同大小的溅射基台；特设的加强筋能够增强主板与背板之间的连接稳定性，以确保在高压冷却水冲击背板时整体结构的稳定性，防止高压冷却水在靶材与背板间造成较大的压力差，导致背板损坏，从而有效的增强了靶材的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型结构俯视示意图；

图2为本实用新型延伸板内部结构示意图；

图3为本实用新型结构侧视示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种平面溅射靶材，包括主板1，所述主板1的两侧设有延伸板2，两侧所述延伸板2的侧边设有长条形凹槽21，所述长条形凹槽21内设有多个伸缩杆22，多个所述伸缩杆22均连接着安装板3的底部，通过伸缩杆可以带动安装板进行拉伸，所述安装板3嵌于凹槽21内，多个所述伸缩杆22上均套有弹簧23，所述弹簧23的两端分别固定在凹槽21底部和安装板3底部，特设的弹簧不仅能够带动安装板进行复位，当高压冷却水冲击时，还能够起到缓冲和抗震的作用，从而大大提高了整体结构的稳定性，所述安装板3上设有多个安装孔31，可将靶材整体便捷的安装至溅射基台上。

本实施例中，所述主板1上设有背板4，所述背板4的两侧设有多个加强筋41，多个所述加强筋均41呈倾斜状连接着主板1的侧边，能够增强主板与背板之间的连接稳定性，所述加强筋41下方所对应的主板1处设有弧形水槽11，方便高压冷却水冲击后排出。