[实用新型]安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构

说明书

本实用新型公开了一种安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构，包括整列气缸、旧盖板放置区、新盖板放置区、耦合式双吸取头、作业工位和流道，耦合式双吸取头包括旧盖板拆取头和新盖板吸取头，旧盖板拆取头一侧为旧盖板放置区，新盖板吸取头一侧为新盖板放置区，旧盖板拆取头和新盖板吸取头相对设置，流道内推入有载具，流道与作业工位衔接，作业工位设置在旧盖板放置区和新盖板放置区之间，整列气缸用于载具的整列定位。耦合式双吸取头之间可进行同时吸取动作，因此换盖速度大大提高，且双头之间不存在相撞的风险，安全性较高。通过耦合双吸取头的工作方式，提高换盖速度、安全性与生产效率。

技术领域

本实用新型涉及一种换盖结构，具体涉及一种安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构。

背景技术

半导体轻工业制造中，工装具有不同的工艺，而针对不同工艺，有些工装又有对应不同的换盖方式，如何进行盖板的高效率更换，是提高生产效率的一种重要方式。

现有的较为常见的换盖方式：

其一为人工换盖方式。

1）将产品放入载具上板机，进行载具夹装；

2）将装有载具的产品从上板机取出，放入工艺主机进行工艺作业；

3）将完成工艺作业的产品从主机中取出；

4）将产品放入载具下板机，进行载具拆除；

5）将产品再次放入载具上板机，进行另一种盖板的夹装；

6）将带有新盖板的产品放入另一个工艺主机中进行作业；

7）将完成作业的产品取出，放入下板机，进行载具拆除；

不难发现，人工更换费时费力，步骤较多，效率十分低下。

其二为自动换盖方式。

这种方式可实现免人工全自动的换盖，一般都为双独立头工作，相较于第一种而言，效率提高，但是由于双独立头之间存在一定的工作逻辑顺序，效率不高，且具有一定的安全风险。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题在于克服现有技术的换盖效率低、安全性不高的缺陷，提供一种安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构。

本实用新型提供如下技术方案：

安全高速型的耦合双拾取头的换盖结构，包括整列气缸、旧盖板放置区、新盖板放置区、耦合式双吸取头、作业工位和流道，所述耦合式双吸取头包括旧盖板拆取头和新盖板吸取头，所述旧盖板拆取头一侧为旧盖板放置区，所述新盖板吸取头一侧为新盖板放置区，所述旧盖板拆取头和新盖板吸取头相对设置，所述流道内推入有载具，所述流道与作业工位衔接，所述作业工位设置在旧盖板放置区和新盖板放置区之间，所述整列气缸用于载具的整列定位。

进一步的，所述旧盖拆取头包括拆取头和固定在拆取头下方的夹爪。

进一步的，所述新盖板吸取头包括吸取头和固定在吸取头下方的吸嘴。

进一步的，所述作业工位处设置真空吸着平台。

进一步的，所述整列气缸有多个，作业工位处和新盖板放置区处均设置有整列气缸。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过耦合式双吸取头，一个吸头负责旧盖板拆除，一个吸头负责新盖板添加，互不干涉的情况下轮流作业,耦合式双吸取头之间可进行同时吸取动作，因此换盖速度大大提高，且双头之间不存在相撞的风险，安全性较高。通过耦合双吸取头的工作方式，提高换盖速度、安全性与生产效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。