[实用新型]一种半导体晶元检测及除尘设备

权利要求书

1.一种半导体晶元检测及除尘设备，其特征在于：所述除尘设备包括：机箱(1)、进料机构(2)、承接机构(3)、水平滑台(4)、检测机构(5)、机械手(6)、具有粘尘棒(71)的供应机构(7)、用于回收不良品的回收机构(8)和卸料机构(9)，所述水平滑台(4)、检测机构(5)、机械手(6)、供应机构(7)和回收机构(8)都位于机箱(1)的内部，所述机箱(1)位于进料机构(2)和卸料机构(9)之间，所述承接机构(3)位于水平滑台(4)上，所述水平滑台(4)从检测机构(5)延伸至回收机构(8)，所述机械手(6)位于检测机构(5)与供应机构(7)之间。

2.根据权利要求1所述的半导体晶元检测及除尘设备，其特征在于：所述进料机构(2)包括：进料框(21)、进料托架(22)、进料升降器(23)和进料推进器(24)，所述进料框(21)固定在进料托架(22)上，所述进料托架(22)沿上下方向可移动地设置在进料升降器(23)上，所述进料推进器(24)与承接机构(3)正对，所述进料框(21)位于进料推进器(24)与承接机构(3)之间。

3.根据权利要求1所述的半导体晶元检测及除尘设备，其特征在于：所述承接机构(3)包括：承接轨道(31)、转移器(32)、压紧器(33)和限位器(34)，所述转移器(32)位于承接轨道(31)的上方，所述压紧器(33)和限位器(34)位于承接轨道(31)的下方，所述压紧器(33)比限位器(34)更靠近进料机构(2)。

4.根据权利要求3所述的半导体晶元检测及除尘设备，其特征在于：所述承接轨道(31)包括：承接电机(311)、磁力辊(312)、多个磁力轮(313)和多个送料辊(314)，所述承接电机(311)的电机轴与磁力辊(312)形成固定连接，所述磁力轮(313)与送料辊(314)形成固定，所述磁力辊(312) 位于多个磁力轮(313)的下方。

5.根据权利要求1所述的半导体晶元检测及除尘设备，其特征在于：所述水平滑台(4)包括：支撑板(41)、X轴滑台(42)和Y轴滑台(43)，所述进料机构(2)固定在支撑板(41)上，所述支撑板(41)沿前后方向可移动地设置在X轴滑台(42)上，所述X轴滑台(42)沿左右方向可移动地设置在Y轴滑台(43)上。

6.根据权利要求1所述的半导体晶元检测及除尘设备，其特征在于：所述检测机构(5)包括：摄像头(51)、前后旋转器(52)、左右旋转器(53)和检测升降器(54)，所述摄像头(51)沿前后方向可转动地设置在前后旋转器(52)上，所述前后旋转器(52)沿左右方向可转动地设置在左右旋转器(53)上，所述左右旋转器(53)沿上下方向可移动地设置在检测升降器(54)上。

7.根据权利要求1所述的半导体晶元检测及除尘设备，其特征在于：所述机械手(6)包括：夹头(61)、上下移动器(62)和前后移动器(63)，所述夹头(61)沿上下方向可移动地设置在上下移动器(62)上，所述上下移动器(62)沿前后方向可移动地设置在前后移动器(63)上。

8.根据权利要求1所述的半导体晶元检测及除尘设备，其特征在于：所述供应机构(7)包括：多个粘尘棒(71)、转台(72)和旋转器(73)，多个粘尘棒(71)位于转台(72)上并且呈360°圆周形阵列的方式排列，所述转台(72)可转动地设置在旋转器(73)上。

9.根据权利要求1所述的半导体晶元检测及除尘设备，其特征在于：所述回收机构(8)包括：回收框(81)、回收托架(82)和回收升降器(83)，所述回收框(81)固定在回收托架(82)上，所述回收托架(82)沿上下方向可移动地设置在回收升降器(83)上。

10.根据权利要求1所述的半导体晶元检测及除尘设备，其特征在于：所述卸料机构(9)包括：卸料框(91)、卸料托架(92)和卸料升降器(93)，所述卸料框(91)固定在卸料托架(92)上，所述卸料托架(92)沿上下方向可移动地设置在卸料升降器(93)上。