[实用新型]一种半导体晶元检测及除尘设备

说明书

一种半导体晶元检测及除尘设备，包括：机箱(1)、进料机构(2)、承接机构(3)、水平滑台(4)、检测机构(5)、机械手(6)、供应机构(7)、回收机构(8)和卸料机构(9)，水平滑台(4)、检测机构(5)、机械手(6)、供应机构(7)和回收机构(8)都位于机箱(1)的内部，机箱(1)位于进料机构(2)和卸料机构(9)之间，承接机构(3)位于水平滑台(4)上，水平滑台(4)从检测机构(5)延伸至回收机构(8)，机械手(6)位于检测机构(5)与供应机构(7)之间。上述除尘设备不仅可以判断半导体晶元是否有灰尘粘附，并且可以自动对半导体晶元上的灰尘进行除尘操作，大大提高效率，并且保证除尘效果。

技术领域

本实用新型涉及除尘设备，尤其是涉及一种半导体晶元检测及除尘设备。

背景技术

一般来说，手机摄像头主要包括内置和外置这两种，内置摄像头是指手机内部安装的摄像头，使用更为便利；外置摄像头是指通过数据线或者其他方式将手机与数码相机进行连接，以此实现拍摄，这种拍摄方式的操作更为便捷。

在手机内置摄像头的制作过程中，需要在摄像头上安装半导体晶元，而为了保证摄像头的正常实用，在半导体晶元安装之前需要确保半导体晶元上的半导体晶元没有灰尘粘附。目前，大多厂商会采用灰尘检测设备对半导体晶元上的洁净度进行检测，其中使用最多的是视觉检测系统，即通过拍摄的方式判断半导体晶元上是否有灰尘粘附。

然而，在检测完成后，需要通过人工的方式进行除尘操作，不仅效率较低，而且除尘的效果难以得到保证，影响产品的良率。

实用新型内容

本实用新型技术方案是针对上述情况的，为了解决上述问题而提供一种半导体晶元检测及除尘设备，所述除尘设备包括：机箱、进料机构、承接机构、水平滑台、检测机构、机械手、具有粘尘棒的供应机构、用于回收不良品的回收机构和卸料机构，所述水平滑台、检测机构、机械手、供应机构和回收机构都位于机箱的内部，所述机箱位于进料机构和卸料机构之间，所述承接机构位于水平滑台上，所述水平滑台从检测机构延伸至回收机构，所述机械手位于检测机构与供应机构之间。

进一步，所述进料机构包括：进料框、进料托架、进料升降器和进料推进器，所述进料框固定在进料托架上，所述进料托架沿上下方向可移动地设置在进料升降器上，所述进料推进器与承接机构正对，所述进料框位于进料推进器与承接机构之间。

进一步，所述承接机构包括：承接轨道、转移器、压紧器和限位器，所述转移器位于承接轨道的上方，所述压紧器和限位器位于承接轨道的下方，所述压紧器比限位器更靠近进料机构。

进一步，所述承接轨道包括：承接电机、磁力辊、多个磁力轮和多个送料辊，所述承接电机的电机轴与磁力辊形成固定连接，所述磁力轮与送料辊形成固定，所述磁力辊位于多个磁力轮的下方。

进一步，所述水平滑台包括：支撑板、X轴滑台和Y轴滑台，所述进料机构固定在支撑板上，所述支撑板沿前后方向可移动地设置在X轴滑台上，所述 X轴滑台沿左右方向可移动地设置在Y轴滑台上。

进一步，所述检测机构包括：摄像头、前后旋转器、左右旋转器和检测升降器，所述摄像头沿前后方向可转动地设置在前后旋转器上，所述前后旋转器沿左右方向可转动地设置在左右旋转器上，所述左右旋转器沿上下方向可移动地设置在检测升降器上。

进一步，所述机械手包括：夹头、上下移动器和前后移动器，所述夹头沿上下方向可移动地设置在上下移动器上，所述上下移动器沿前后方向可移动地设置在前后移动器上。

进一步，所述供应机构包括：多个粘尘棒、转台和旋转器，多个粘尘棒位于转台上并且呈360°圆周形阵列的方式排列，所述转台可转动地设置在旋转器上。

进一步，所述回收机构包括：回收框、回收托架和回收升降器，所述回收框固定在回收托架上，所述回收托架沿上下方向可移动地设置在回收升降器上。