[实用新型]一种离子注入用多功能样品架有效
| 申请号： | 202120960027.0 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN214477326U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 王泽松;邹长伟;田灿鑫;刘贵昂;庄瑞雪 | 申请（专利权）人： | 岭南师范学院 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/317 |
| 代理公司： | 重庆金橙专利代理事务所(普通合伙) 50273 | 代理人： | 唐健玲 |
| 地址： | 524037 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 多功能 样品 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子注入用多功能样品架，其特征在于：包括密封盖(1)，所述密封盖(1)中安装有推拉杆(3)，所述推拉杆(3)一侧设置有螺旋测微器(4)，所述推拉杆(3)远离所述螺旋测微器(4)一侧安装有可加工氮化硼陶瓷棒(11)，所述可加工氮化硼陶瓷棒(11)一侧安装有样品台(5)，所述样品台(5)上均匀分布有四个样品区(501)，所述密封盖(1)一侧安装有真空密封O型圈(2)，所述推拉杆(3)上方设置有束流测量线BNC接头(9)，所述推拉杆(3)下方设置有抑制电极BNC接头(10)，所述推拉杆(3)后方设置有聚四氟乙烯棒(6)，所述聚四氟乙烯棒(6)上面安装有二次电子屏蔽罩(7)，所述二次电子屏蔽罩(7)中间设置有限束孔(8)。
2.根据权利要求1所述的一种离子注入用多功能样品架，其特征在于：所述样品台(5)采用铝合金材料。
3.根据权利要求1所述的一种离子注入用多功能样品架，其特征在于：所述限束孔(8)为正方形，边长为10mm。
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