[实用新型]一种新型半导体刻蚀装置

权利要求书

1.一种新型半导体刻蚀装置，包括操作台(1)、支撑板(2)、底座(3)、刻蚀针(4)、冷气管(5)和热气管(6)，其特征在于，所述支撑板(2)活动连接于操作台(1)的后方，所述支撑板(2)底部的前端固定连接有底座(3)，所述操作台(1)的下端设有刻蚀针(4)、冷气管(5)和热气管(6)，且刻蚀针(4)、冷气管(5)和热气管(6)均与操作台(1)呈活动连接，并且刻蚀针(4)、冷气管(5)和热气管(6)分别为左中右的顺序排列分布，所述操作台(1)的前端固定连接有控制面板(7)，所述底座(3)上方的左右两端分别固定连接有放置台(8)，所述操作台(1)内部的右上端固定连接有冷凝器(101)，且操作台(1)内部的左上端固定连接有热风器(102)，所述冷凝器(101)和热风器(102)的内侧分别固定连接有排水管(104)，且连接于冷凝器(101)和热风器(102)内的排水管(104)分别贯穿至冷凝器(101)和热风器(102)外侧，两侧所述排水管(104)的之间固定连接有汽水箱(103)，所述冷凝器(101)和热风器(102)的下端均固定连接有增压器(105)，所述增压器(105)的下端均固定连接有通气管(106)，所述通气管(106)的下端均固定连接有隔板(109)，所述隔板(109)上端的中部固定连接有数据传输器(108)，所述数据传输器(108)的上端固定连接有电机(107)，所述隔板(109)的底部活动连接有连接轴(110)，所述操作台(1)的下端开设有纵向滑轨(111)和横向滑轨(112)，所述放置台(8)的四端分别活动连接有固定架(801)。

2.根据权利要求1所述的一种新型半导体刻蚀装置，其特征在于，所述刻蚀针(4)、冷气管(5)和热气管(6)分别与连接轴(110)底部为固定连接，且连接轴(110)与数据传输器(108)为电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种新型半导体刻蚀装置，其特征在于，所述放置台(8)的上端设有海绵垫(9)。

4.根据权利要求1所述的一种新型半导体刻蚀装置，其特征在于，所述排水管(104)为倾斜设置。

5.根据权利要求1所述的一种新型半导体刻蚀装置，其特征在于，所述固定架(801)之间固定连接有弹簧。

6.根据权利要求1所述的一种新型半导体刻蚀装置，其特征在于，所述纵向滑轨(111)和横向滑轨(112)之间为相互交叉设置。