[实用新型]用于清洗机的防护装置以及清洗机有效
申请号: | 202120975774.1 | 申请日: | 2021-05-08 |
公开(公告)号: | CN215278852U | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 董明;李宗英;梁楷模 | 申请(专利权)人: | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 周耀君 |
地址: | 312000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 清洗 防护 装置 以及 | ||
1.一种用于清洗机的防护装置,所述清洗机包括接液盘,所述接液盘上设置有排液口,其特征在于,所述防护装置包括外管,所述外管的一端开口,另一端封闭;所述外管用于固定设置于所述排液口的外部并罩设住所述排液口,所述外管的内腔用于与所述排液口连通;所述外管的侧面设置有至少一个第一出口。
2.根据权利要求1所述的用于清洗机的防护装置,其特征在于,所述防护装置还包括至少一端开口的内管,所述内管上形成开口的一端用于插入所述排液口,另一端与所述外管固定连接,且所述内管与所述外管之间具有间隙,所述内管上设置有至少一个第二出口,所述第二出口至少部分设置在所述外管外,且所述第二出口与所述第一出口错位布置。
3.根据权利要求2所述的用于清洗机的防护装置,其特征在于,所述内管与所述外管同轴设置。
4.根据权利要求2所述的用于清洗机的防护装置,其特征在于,所述第二出口的数量为两个,两个所述第二出口对称设置。
5.根据权利要求2或3所述的用于清洗机的防护装置,其特征在于,所述外管与所述内管为一体成型结构或分体成型结构。
6.根据权利要求2或3所述的用于清洗机的防护装置,其特征在于,所述外管的材料为透明树脂材料,和/或,所述内管的材料为透明树脂材料。
7.根据权利要求2所述的用于清洗机的防护装置,其特征在于,所述第二出口的一部分设置在所述外管外,另一部分设置在所述外管内。
8.根据权利要求1或2所述的用于清洗机的防护装置,其特征在于,所述第一出口的数量为两个,两个所述第一出口对称设置。
9.根据权利要求1或2所述的用于清洗机的防护装置,其特征在于,所述第一出口设置于所述外管的开口端的端面处,所述第一出口的底部与所述排液口平齐。
10.一种清洗机,其特征在于,包括酸洗槽、接液盘和如权利要求1-9中任一项所述的用于清洗机的防护装置,所述接液盘设置于所述酸洗槽的外部,所述接液盘上设置有排液口,所述防护装置设置于所述排液口处。
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