[实用新型]菲林玻璃光罩

权利要求书

1.一种菲林玻璃光罩，其特征在于，包括：

玻璃基板，所述玻璃基板包括相互背对的入光面和出光面；

菲林片，所述菲林片贴设于所述出光面，所述菲林片包括透光区和遮光区；以及

折射镜，所述折射镜设于所述菲林片的背离所述玻璃基板的一侧并与所述菲林片间隔设置，所述折射镜于所述菲林片的至少部分投影位于所述透光区内，以使由所述透光区边缘出射的衍射光经过所述折射镜后的出射角度变小。

2.如权利要求1所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述折射镜为凹透镜结构，所述凹透镜结构与所述菲林片相对设置，且所述凹透镜结构的主光轴穿设于所述遮光区。

3.如权利要求2所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，定义所述凹透镜结构的光心与所述菲林片之间的间距为L，所述凹透镜结构的焦距为f，且满足L＜f。

4.如权利要求2所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述凹透镜结构包括背对设置的第一折射面和第二折射面，所述第一折射面与所述菲林片相对设置，并向背离所述菲林片的方向凹陷形成凹面，所述第二折射面设于所述第一折射面的背离所述菲林片的一侧，并向所述菲林片凹陷形成凹面。

5.如权利要求1所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述折射镜为棱镜结构，所述棱镜结构包括呈夹角设置的第一镜面和第二镜面，所述第一镜面自所述菲林片向远离所述菲林片的方向，以及自所述遮光区向所述透光区倾斜设置，所述第二镜面背对所述菲林片设置。

6.如权利要求1所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述菲林玻璃光罩还包括连接结构，所述连接结构设于所述菲林片的背离所述玻璃基板的一侧，并向远离所述菲林片的方向延伸设置，所述折射镜与所述连接结构连接。

7.如权利要求6所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述连接结构的朝向所述透光区的表面设有吸光层。

8.如权利要求6所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述折射镜可滑动地设于所述连接结构的内侧，以朝向或远离所述菲林片滑动。

9.如权利要求8所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述连接结构的内侧表面凹设有滑槽，所述滑槽沿所述菲林片和所述折射镜的排布方向延伸设置，所述折射镜的朝向所述连接结构的一端凸设有滑动部，所述滑动部可滑动地卡设于所述滑槽中。

10.如权利要求1至9任意一项中所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述折射镜设有若干，若干所述折射镜沿所述透光区的边缘依次排布。