[实用新型]菲林玻璃光罩

说明书

本实用新型提出一种菲林玻璃光罩，包括玻璃基板、菲林片以及折射镜，所述玻璃基板包括相互背对的入光面和出光面；所述菲林片贴设于所述出光面，所述菲林片包括透光区和遮光区；所述折射镜设于所述菲林片的背离所述玻璃基板的一侧，所述折射镜于所述菲林片的至少部分投影位于所述透光区内，以使由所述透光区边缘出射的衍射光经过所述折射镜后的出射角度变小。本申请的技术方案，得以提高曝光精度和分辨率。

技术领域

本实用新型涉及集成电路技术领域，特别涉及一种菲林玻璃光罩。

背景技术

光线垂直照射到光罩后只能从透光区透过，以形成相应的曝光图形。随着技术的发展，芯片中的结构越来越细小，相应的透光区的尺寸也越来越小。当光线通过透光区时相当于经过了细小的狭缝，会发生明显的衍射现象导致实际被光线照射到的区域的宽度比透光区的宽度大，且边缘模糊、分辨率低。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种菲林玻璃光罩，旨在提高曝光精度和分辨率。

为实现上述目的，本实用新型提出的一种菲林玻璃光罩，包括：

玻璃基板，所述玻璃基板包括相互背对的入光面和出光面；

菲林片，所述菲林片贴设于所述出光面，所述菲林片包括透光区和遮光区；以及

折射镜，所述折射镜设于所述菲林片的背离所述玻璃基板的一侧，所述折射镜于所述菲林片的至少部分投影位于所述透光区内，以使由所述透光区边缘出射的衍射光经过所述折射镜后的出射角度变小。

可选地，所述折射镜为凹透镜结构，所述凹透镜结构与所述菲林片相对设置，且所述凹透镜结构的主光轴穿设于所述遮光区。

可选地，定义所述凹透镜结构的光心与所述菲林片之间的间距为L，所述凹透镜结构的焦距为f，且满足L＜f。

可选地，所述凹透镜结构包括背对设置的第一折射面和第二折射面，所述第一折射面与所述菲林片相对设置，并向背离所述菲林片的方向凹陷形成凹面，所述第二折射面设于所述第一折射面的背离所述菲林片的一侧，并向所述菲林片凹陷形成凹面。

可选地，所述折射镜为棱镜结构，所述棱镜结构包括呈夹角设置的第一镜面和第二镜面，所述第一镜面自所述菲林片向远离所述菲林片的方向，以及自所述遮光区向所述透光区倾斜设置，所述第二镜面背对所述菲林片设置。

可选地，所述菲林玻璃光罩还包括连接结构，所述连接结构设于所述菲林片的背离所述玻璃基板的一侧，并向远离所述菲林片的方向延伸设置，所述折射镜与所述连接结构连接。

可选地，所述连接结构的朝向所述透光区的表面设有吸光层。

可选地，所述折射镜可滑动地设于所述连接结构的内侧，以朝向或远离所述菲林片滑动。

可选地，所述连接结构的内侧表面凹设有滑槽，所述滑槽沿所述菲林片和所述折射镜的排布方向延伸设置，所述折射镜的朝向所述连接结构的一端凸设有滑动部，所述滑动部可滑动地卡设于所述滑槽中。

可选地，所述折射镜设有若干，若干所述折射镜沿所述透光区的边缘依次排布。

本实用新型的菲林玻璃光罩中，菲林片贴设于玻璃基板的出光面，并设有透光区和遮光区，光线从透光区射出后从折射镜穿过，使得通过透光区的光束中，位于边缘的原本发散的衍射光线发生折射，折射光向透光区收拢，既得以将照射范围限制在透光区区域内，避免了实际照射宽度大于透光区的宽度；又提高了光线利用率，提高曝光精度和分辨率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。