[实用新型]一种装载台

权利要求书

1.一种装载台，其特征在于，包括机架、定位治具，其中：

机架，作为承载结构，顶部设置有用于放置晶圆盒的片盒平台；

定位治具，设置在所述片盒平台上，数量为至少两套，每套所述定位治具的规格不同，用以分别定位不同规格的晶圆盒。

2.根据权利要求1所述的装载台，其特征在于，所述装载台还包括片盒自动识别传感器，所述片盒自动识别传感器设置在所述定位治具旁侧，数量为多个，通过不同组合的所述片盒自动识别传感器的识别信号以判断晶圆盒规格。

3.根据权利要求1所述的装载台，其特征在于，所述装载台还包括可升降的设置在所述片盒平台上的Mapping传感器。

4.根据权利要求3所述的装载台，其特征在于，所述Mapping传感器通过Mapping升降机构设置在所述片盒平台上。

5.根据权利要求4所述的装载台，其特征在于，所述Mapping升降机构安装在所述机架内且位于所述片盒平台底部，所述Mapping升降机构包括依次设置的电机、丝杠滑块模组和直线轴承，所述片盒平台上开设有贯穿口，所述Mapping传感器安装在所述直线轴承上，能相对于所述贯穿口伸出或缩回。

6.根据权利要求1所述的装载台，其特征在于，每套所述定位治具均包括四个呈矩形设置的定位柱，且所有的所述定位治具的中心点位于同一直线上。

7.根据权利要求1所述的装载台，其特征在于，所述定位治具的数量为两个，分别为6寸片盒定位治具和8寸片盒定位治具，所述6寸片盒定位治具和所述8寸片盒定位治具套设在一起，以使定位在所述6寸片盒定位治具上的片盒和定位在所述8寸片盒定位治具上的片盒一边相切。

8.根据权利要求1所述的装载台，其特征在于，所述装载台还包括设置在所述片盒平台上的晶圆突出传感器。

9.根据权利要求1所述的装载台，其特征在于，所述装载台还包括竖直设置在所述机架旁侧的立板，所述立板上设置有多个指示灯和接口面板，还包括设置在所述片盒平台上的启动按钮。

10.根据权利要求9所述的装载台，其特征在于，所述装载台还包括护罩，所述护罩通过气弹簧活动设置在所述立板上，能相对于所述片盒平台抬起或降下，以将所述片盒平台打开或罩住。