[实用新型]一种反应磁控多弧线圈靶装置有效
| 申请号： | 202121014885.2 | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN215288951U | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 潘振强;朱惠钦;潘又铭;施华锋 | 申请（专利权）人： | 广东振华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 曹爱红 |
| 地址： | 526020 广东省肇庆市端*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 反应 磁控多 弧线 装置 | ||
1.一种反应磁控多弧线圈靶装置，其特征在于：包括圆形多弧靶材、用于安装圆形多弧靶材的金属制靶材座，所述金属制靶材座通过安装法兰安装在真空镀膜室的内部，所述安装法兰内嵌有磁性线圈，所述安装法兰上对应与靶材的前端设有阳极罩，所述安装法兰上还安装有引弧装置，所述金属制靶材座的背面设有转动的永磁铁装置。
2.根据权利要求1所述的反应磁控多弧线圈靶装置，其特征在于：所述安装法兰内还嵌有能通入循环冷却水的水冷却管结构。
3.根据权利要求2所述的反应磁控多弧线圈靶装置，其特征在于：所述磁性线圈相距靶材的轴中心距离大于水冷却管结构相距靶材的轴中心距离。
4.根据权利要求1所述的反应磁控多弧线圈靶装置，其特征在于：所述靶材的外端面与安装法兰内端面的距离范围值是5mm-20mm。
5.根据权利要求1所述的反应磁控多弧线圈靶装置，其特征在于：所述永磁铁装置上连接有磁铁转动装置，所述磁铁转动装置包括直流驱动电机和连接在直流驱动电机输出轴上的齿轮传动副，所述齿轮传动副包括与直流电机输出轴同轴并固定连接的主动齿轮，以及与永磁铁的同轴并固定连接的从动齿轮。
6.根据权利要求1所述的反应磁控多弧线圈靶装置，其特征在于：所述引弧装置包括依次连接的引弧旋转机构、引弧杆和引弧针，所述引弧针贴近圆形多弧靶材的外表面。
7.根据权利要求1所述的反应磁控多弧线圈靶装置，其特征在于：所述金属制靶材座为铜制靶材座。
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