[实用新型]一种化学机械抛光设备的清洗装置

权利要求书

1.一种化学机械抛光设备的清洗装置，包括上开口框(1)，其特征在于：所述上开口框(1)的上表面连接有上盖板(3)，所述上盖板(3)的正上方连接有顶板(6)，所述顶板(6)的下表面前后两侧对称连接侧竖板(61)，所述顶板(6)的下表面中部连接有蓄水盒(62)，所述蓄水盒(62)的下表面一侧中部连通有雾式喷头(63)，所述雾式喷头(63)的下表面连接有擦洗海绵垫(64)，所述蓄水盒(62)远离雾式喷头(63)的侧表面中部连通有第二连接管(22)，所述第二连接管(22)的另一端连通有水泵(2)，所述水泵(2)的一端连通有第一连接管(21)，所述第一连接管(21)的另一端贯穿上盖板(3)延伸至上开口框(1)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的清洗装置，其特征在于，所述顶板(6)的下表面左右两侧对称开设有T型滑槽(65)，所述侧竖板(61)的上表面左右对称连接有T型滑块(66)，所述T型滑块(66)沿着T型滑槽(65)滑动，所述T型滑块(66)的宽度尺寸为侧竖板(61)厚度尺寸的两倍，所述T型滑块(66)的下表面远离侧竖板(61)的一侧中部螺纹连接有锁紧螺栓(67)。

3.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的清洗装置，其特征在于，所述侧竖板(61)远离雾式喷头(63)的侧表面中部连接有安装板(5)，所述安装板(5)的下表面中部连接有外螺纹柱(51)，所述外螺纹柱(51)的圆周面下侧螺纹连接有内外螺纹环(52)，所述上盖板(3)的上表面远离雾式喷头(63)的一侧中部连接有内螺纹空心轴(4)，所述内螺纹空心轴(4)的内部下侧连接有轴承(41)，所述轴承(41)和外螺纹柱(51)的圆周面下部转动连接，所述内螺纹空心轴(4)和内外螺纹环(52)螺纹连接，所述轴承(41)的高度尺寸与内外螺纹环(52)的高度尺寸之和大于内螺纹空心轴(4)的内部深度尺寸。

4.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的清洗装置，其特征在于，所述上开口框(1)的内部中部连接有竖隔板(13)，所述上开口框(1)的内部且位于竖隔板(13)的一侧为水腔(11)，所述上开口框(1)的内部且位于竖隔板(13)的另一侧为存放腔(12)。

5.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的清洗装置，其特征在于，所述上开口框(1)靠近雾式喷头(63)的一侧表面连接有扶手(7)，所述扶手(7)包含有握杆(71)和L型支柱(72)，所述L型支柱(72)左右对称连接在上开口框(1)靠近雾式喷头(63)的一侧表面上，且L型支柱(72)的数量为两个，所述L型支柱(72)的内表面连接有握杆(71)。

6.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的清洗装置，其特征在于，所述上开口框(1)的下表面连接有移动机构(8)，所述移动机构(8)包含有安装座(81)和万向轮(82)，所述安装座(81)的上表面连接在上开口框(1)的下表面上，所述安装座(81)的下表面中部连接有万向轮(82)。