[实用新型]一种用于晶圆检测的移动载台机构

权利要求书

1.一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括底座(1)和载台(6)，其特征在于：所述底座(1)底部设置有万向轮(2)，所述底座(1)内设置有空气压缩机(3)，所述底座(1)远离万向轮(2)一侧设置有伸缩杆(4)，所述伸缩杆(4)上设置有安装平台(5)，所述安装平台(5)上设置有载台(6)，所述载台(6)两侧均设置有气缸(7)，所述气缸(7)上设置有安装板(8)，所述安装板(8)上设置有优力胶板(9)，所述安装板(8)和优力胶板(9)上均设置有空槽(10)，所述安装板(8)的空槽(10)内壁设置有第一卡槽(11)，所述优力胶板(9)的空槽(10)内壁设置有第二卡槽(12)，所述安装板(8)远离优力胶板(9)的一侧设置有把手(13)，所述把手(13)上设置有插柱(14)，所述插柱(14)上设置有转轴(15)，所述转轴(15)上设置有连接杆(16)，所述连接杆(16)上设置有弹簧(17)，所述弹簧(17)上设置有弹性球(18)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述伸缩杆(4)一侧和底座(1)连接，所述伸缩杆(4)另一侧和安装平台(5)连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述把手(13)表面为粗糙状结构，所述把手(13)为着力点。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述插柱(14)插接在空槽(10)内。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述第一卡槽(11)和第二卡槽(12)尺寸相同。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述弹性球(18)和第一卡槽(11)以及第二卡槽(12)相互适配。