[实用新型]一种自动化晶圆厚度检测设备

权利要求书

1.一种自动化晶圆厚度检测设备，包括支撑板(1)、固定轴(2)和固定盘(11)，其特征在于：所述支撑板(1)的表面设置有固定轴(2)，所述固定轴(2)的前端设置有承重杆(3)，所述承重杆(3)的表面设置有记录板(4)，所述记录板(4)的前端设置有固定块(5)，所述固定块(5)的表面设置有记录笔(6)，所述固定块(5)的底端设置连杆(7)，所述连杆(7)的底端设置有测量柱(10)，所述测量柱(10)的一侧设置有套管(9)，所述固定盘(11)的表面一侧设置有套杆(12)，所述套杆(12)的表面设置有固定栓(14)，所述套杆(12)的内部设置有固定杆(13)，所述固定盘(11)的前端设置有控制开关(15)，所述固定盘(11)的底端设置有底座(8)，所述底座(8)的内部设置有驱动机(16)。

2.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆厚度检测设备，其特征在于：所述承重杆(3)与固定轴(2)之间设置有套轴，且承重杆(3)围绕固定轴(2)可以左右转动。

3.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆厚度检测设备，其特征在于：所述驱动机(16)与固定盘(11)之间连接有传动轴，且固定盘(11)可以围绕圆心转动。

4.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆厚度检测设备，其特征在于：所述固定轴(2)的后端设置有金属杆，且固定轴(2)的金属杆与支撑板(1)的顶端焊接固定。

5.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆厚度检测设备，其特征在于：所述测量柱(10)安装在套管(9)的内部，且测量柱(10) 安装在套管(9)内部上下滑动。

6.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆厚度检测设备，其特征在于：所述测量柱(10)的表面设置有刻度尺，且测量柱(10)外部套管(9)采用透明亚克力材质。

7.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆厚度检测设备，其特征在于：所述连杆(7)的底端与测量柱(10)焊接固定，且测量柱(10)的顶端设置有限位块。

8.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆厚度检测设备，其特征在于：所述驱动机(16)与控制开关(15)电性连接。