[实用新型]小包装高纯电子级化学品灌装装置

权利要求书

1.小包装高纯电子级化学品灌装装置，包括灌装管(1)，其特征在于：所述灌装管(1)的一端安装有灌装口(7)，所述灌装管(1)的另一端安装有进气口(2)，所述进气口(2)通过进气管(3)与氮气罐(4)连接，所述进气管(3)上安装有气泵(5)，所述灌装管(1)上等距离安装有若干个定量上料组件(6)，所述定量上料组件(6)通过供料管(8)与料罐(10)连接，所述供料管(8)上安装有供料阀(9)，所述灌装管(1)通过导线与控制板(13)连接，所述控制板(13)电性连接气泵(5)和定量上料组件(6)。

2.根据权利要求1所述的小包装高纯电子级化学品灌装装置，其特征在于：所述定量上料组件(6)至少设置有两个。

3.根据权利要求1所述的小包装高纯电子级化学品灌装装置，其特征在于：所述定量上料组件(6)包括箱体(14)、支架(15)、密封圈(16)、第一电磁阀(17)、称重传感器(18)、分料斗(19)、第二电磁阀(20)和PLC控制器(21)；

所述箱体(14)等距离固定在灌装管(1)的顶部，所述箱体(14)的内部通过支架(15)固定有分料斗(19)，所述分料斗(19)与支架(15)之间设置有称重传感器(18)，所述分料斗(19)的底端穿过箱体(14)位于灌装管(1)的内部，所述灌装管(1)与分料斗(19)的连接处设置有密封圈(16)，所述分料斗(19)的底部安装有第一电磁阀(17)，所述分料斗(19)的正上方安装有供料管(8)，所述供料管(8)的底端安装有第二电磁阀(20)，所述控制板(13)的内部安装有PLC控制器(21)，所述称重传感器(18)电性连接PLC控制器(21)的输入端，所述PLC控制器(21)的输出端电性连接第一电磁阀(17)和第二电磁阀(20)。

4.根据权利要求1所述的小包装高纯电子级化学品灌装装置，其特征在于：所述灌装管(1)上靠近进气口(2)的一端安装有进水管(11)，所述进水管(11)上安装有进水阀(12)。

5.根据权利要求1所述的小包装高纯电子级化学品灌装装置，其特征在于：所述灌装管(1)上设置有观察窗(22)。