[实用新型]一种适用于光学透镜的真空镀膜装置

权利要求书

1.一种适用于光学透镜的真空镀膜装置，包括真空室和安装于真空室内的溅射镀膜发生器(1)，其特征在于：所述溅射镀膜发生器(1)设有圆形的喷口平台(12)，所述喷口平台(12)设有同心的溅射出口(11)，所述溅射镀膜发生器(1)连接有基片架(2)，所述基片架(2)连接有电机(5)，所述电机(5)连接有第一齿轮(51)，所述基片架(2)转动连接有齿轮结构(4)，所述齿轮结构(4)内圈连接有预盛放机构(6)，所述齿轮结构(4)和基片架(2)之间连接有转动环(3)；

所述基片架(2)设有定位底座(23)，所述定位底座(23)设有圆孔，所述圆孔的直径等于喷口平台(12)的直径，所述定位底座(23)的外圈连接有外圆环(24)，所述外圆环(24)连接有支撑柱(25)，所述支撑柱(25)连接有定位圆环(26)，所述定位圆环(26)的内圈直径同样等于喷口平台(12)的直径，所述定位圆环(26)的下方粘接有防护片(27)；

所述齿轮结构(4)内圈设有圆环(42)，所述齿轮结构(4)外圈设有转动底座(43)，所述转动底座(43)与环形槽(22)间隙配合；

所述预盛放机构(6)上方设有提手(63)，所述预盛放机构(6)为环状，所述预盛放机构(6)内圈下方设有限位口(61)，所述限位口(61)连接有坡口(62)；

所述第一齿轮(51)的齿数为二，所述第一齿轮(51)可与齿轮结构(4)啮合。

2.根据权利要求1所述的一种适用于光学透镜的真空镀膜装置，其特征在于：所述溅射镀膜发生器(1)设有销孔，所述基片架(2)和溅射镀膜发生器(1)之间连接有快换销钉(13)。

3.根据权利要求2所述的一种适用于光学透镜的真空镀膜装置，其特征在于：所述转动环(3)转动连接于环形槽(22)内，所述转动环(3)设有滚珠(31)。

4.根据权利要求3所述的一种适用于光学透镜的真空镀膜装置，其特征在于：所述电机(5)通过接插件进行上电。

5.根据权利要求4所述的一种适用于光学透镜的真空镀膜装置，其特征在于：所述齿轮结构(4)内圈设有限位槽(41)，所述预盛放机构(6)外圈设有可与限位槽(41)匹配的限位条(64)。