[实用新型]一种适用于光学透镜的真空镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种适用于光学透镜的真空镀膜装置，包括真空室和安装于真空室内的溅射镀膜发生器，其特征在于：溅射镀膜发生器设有圆形的喷口平台，喷口平台设有同心的溅射出口，溅射镀膜发生器连接有基片架，基片架连接有电机，电机连接有第一齿轮，基片架转动连接有齿轮结构，齿轮结构内圈连接有预盛放机构；基片架设有定位底座，定位底座设有圆孔，定位底座的外圈连接有外圆环，外圆环连接有支撑柱，支撑柱连接有定位圆环，定位圆环的下方粘接有防护片；齿轮结构内圈设有圆环，齿轮结构外圈设有转动底座，转动底座与环形槽间隙配合；预盛放机构上方设有提手，预盛放机构为环状，预盛放机构内圈下方设有限位口，限位口连接有坡口。

技术领域

本实用新型属于镀膜技术领域，具体涉及一种适用于光学透镜的真空镀膜装置。

背景技术

当光线进入不同的传递物质时，大约有5％会被反射掉，为降低反射率，现代技术通常会在透镜上采用真空镀膜来提高透光率和耐磨性，真空镀膜技术主要分为蒸发镀，溅射镀以及离子镀等方式。真空溅射镀膜可以理解为，利用电子或高能激光轰击靶材，使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，最终沉积在基片表面，形成薄膜。现有的溅射镀膜设备，在夹持基片时，存在基片放置与溅射口不同心的问题，这导致基片镀膜时，靶材在透镜的一侧过度沉积，造成镀膜分布不均匀，影响镀膜质量，另外，真空镀膜时，需要内部仪器具有一定的清洁度，避免杂质随靶材一同附着在透镜上，影响镀层效果，然而现有的镀膜设备都比较难以拆装，造成难以清洗内部结构，最后，很少有镀膜设备设置取放镜片的结构，往往采用直接接触式的取放方法，容易造成镀层污染。

实用新型内容

针对上述背景技术所提出的问题，本实用新型的目的是：旨在提供一种适用于光学透镜的真空镀膜装置。

为实现上述技术目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种适用于光学透镜的真空镀膜装置，包括真空室和安装于真空室内的溅射镀膜发生器，其特征在于：所述溅射镀膜发生器设有圆形的喷口平台，所述喷口平台设有同心的溅射出口，所述溅射镀膜发生器连接有基片架，所述基片架连接有电机，所述电机连接有第一齿轮，所述基片架转动连接有齿轮结构，所述齿轮结构内圈连接有预盛放机构，所述齿轮结构和基片架之间连接有转动环；

所述基片架设有定位底座，所述定位底座设有圆孔，所述圆孔的直径等于喷口平台的直径，所述定位底座的外圈连接有外圆环，所述外圆环连接有支撑柱，所述支撑柱连接有定位圆环，所述定位圆环的内圈直径同样等于喷口平台的直径，所述定位圆环的下方粘接有防护片；

所述齿轮结构内圈设有圆环，所述齿轮结构外圈设有转动底座，所述转动底座与环形槽间隙配合；

所述预盛放机构上方设有提手，所述预盛放机构为环状，所述预盛放机构内圈下方设有限位口，所述限位口连接有坡口；

所述第一齿轮的齿数为二，所述第一齿轮可与齿轮结构啮合。

进一步限定，所述溅射镀膜发生器设有销孔，所述基片架和溅射镀膜发生器之间连接有快换销钉，这样的结构设计，便于在拆卸装配基片架时，可以通过快换销钉和销孔的配合，快速完成拆装，避免复杂的操作步骤。

进一步限定，所述转动环转动连接于环形槽内，所述转动环设有滚珠，这样的结构设计，使得齿轮结构在转动环上转动时，通过滚珠将滑动摩擦转变为滚动摩擦。

进一步限定，所述电机通过接插件进行上电，这样的结构设计，使得在拆装电机时，可以通过接插件快速完成电机的分离和连接。

进一步限定，所述齿轮结构内圈设有限位槽，所述预盛放机构外圈设有可与限位槽匹配的限位条，这样的结构设计，通过限位条与限位槽的匹配，完成齿轮结构对预盛放机构的动力传递。

本实用新型的有益效果：

1.透镜放置时，与溅射口的同心度较好，避免了靶材在透镜的一侧过度沉积，造成镀膜分布不均匀；