[实用新型]用于透射电镜样品的多规格显微镜联动分析样品台

说明书

本实用新型提供了一种用于透射电镜样品的多规格显微镜联动分析样品台，该样品台包括单元体、仪器兼容外壳、装配器。其中，单元体对TEM grid起到承载、固定作用；仪器兼容外壳有多种规格，其形状分别与所使用的仪器相适配，可固定单元体进而适用于不同的仪器中，实现多种仪器联用分析；装配器上开设三个固定槽，可直接固定TEM grid，也可固定单元体和仪器兼容外壳。本技术以TEM grid为基础，通过模块化的外部结构设计实现了对不同仪器的兼容，一次装入TEM grid后仅需更换相应的仪器兼容外壳即可在多个仪器之间联用。作为一种通用样品台方案，本技术适用于二维材料从转移制备到PLM观察、AFM表征、SEM分析的全过程，充分增强了实验的便利性并提高了实验效率。

技术领域

本实用新型涉及电镜分析技术领域，具体涉及一种用于透射电镜样品的多规格显微镜联动分析样品台。

背景技术

对于敏感材料尤其是敏感二维材料而言，在惰性气体保护的手套箱系统中进行样品制备和表征需要多种设备的协同配合，由于各设备来自不同厂家，其规格型号和应用需求存在差异，因此TEM样品从制备到基本表征分析需要在不同的仪器样品台上多次切换。

TEM grid尺寸小并且结构脆弱，在手套箱系统中制TEM样品步骤复杂操作困难。制作好的样品位于TEM gird上，在不同仪器上的表征切换样品台/杯需要多次转移、装载/固定和取出，这个过程极大的增加了样品被污染和损坏的风险，也导致了实验效率低下。

发明内容

本实用新型旨在针对现有技术的技术缺陷，提供一种用于透射电镜样品的多规格显微镜联动分析样品台，以解决常规装载结构和手套箱系统不兼容的技术问题。

本实用新型要解决的另一技术问题是，常规装载结构不能和PLM、AFM和SEM等多规格仪器观察表征兼容。

本实用新型要解决的再一技术问题是，常规装载结构无法直接用来制备二维材料的透射电镜样品。

本实用新型要解决的又一技术问题是，常规装载结构需要外联真空设备，系统复杂性高，结构占用空间过大。

为实现以上技术目的，本实用新型采用以下技术方案：

用于透射电镜样品的多规格显微镜联动分析样品台，包括单元体，仪器兼容外壳，装配器。

所述单元体包括TEM grid固定核心，TEM grid，垫圈，空心固定螺丝，内螺纹盲孔，通孔，其中，在TEM grid固定核心的下端开设有内螺纹盲孔，在内螺纹盲孔的顶端开设有通孔，通孔的直径小于内螺纹盲孔的直径，TEM grid位于内螺纹盲孔顶端，空心固定螺丝拧在内螺纹盲孔中将TEM grid压紧固定，在空心固定螺丝与TEM grid之间垫置有垫圈。

在所述仪器兼容外壳上开设有与TEM grid固定核心外形相配合的插槽。

在装配器上开设有与TEM grid固定核心外形相配合的单元体固定槽，开设有与TEM grid外形相配合的TEM grid固定槽，开设有与所述仪器兼容外壳外形相配合的仪器兼容外壳固定槽。

作为优选，所述仪器兼容外壳为二维材料转移外壳，二维材料转移外壳的外形与二维材料转移平台相适配。

作为优选，所述仪器兼容外壳为AFM测试兼容外壳，AFM测试兼容外壳的外形与AFM相适配。

作为优选，所述仪器兼容外壳为SEM测试兼容外壳，SEM测试兼容外壳的外形与SEM相适配。

作为优选，还包括定位螺丝，所述单元体插接在仪器兼容外壳的所述插槽中，定位螺丝将单元体和仪器兼容外壳紧固连接。