[实用新型]半导体设备自动加药装置

说明书

半导体设备自动加药装置，包括：外箱体，外箱体内部设有保温机构，外箱体顶部设有搅拌机构，搅拌机构一端设有清洁机构，外箱体底部设有减震机构，搅拌机构包括主动齿轮，清洁机构包括第一齿轮和第二齿轮，本实用新型具有以下优点：通过两个温度传感器感应温度，控制输送管道，输送热水进入保温腔内部，对药进行保温，使得温度更加均匀，通过搅拌电机带动扇叶和三角搅拌叶旋转，便于对药进行搅拌，同时防止药堵塞在出口处，通过活动杆挤压液压腔内部的液体，通过液体的运动减少装置的震动，通过电动推杆带动第一齿轮与第二齿轮和主动齿轮啮合，便于打开和关闭清洁的功能。

技术领域

本实用涉及加药设备技术领域，具体涉及半导体设备自动加药装置。

背景技术

半导体材料指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体设备包含范围很广，主要包括传感器、电路板和芯片等设备。

现有的半导体设备用自动加药装置，缺少对加药设备的清洗装置，无法清洁设备的内壁，装置中无法保证其温度稳定，使得其内部药容易受到温度的影响，装置在运行时，容易发生震动，导致装置损坏，噪音增大。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是现有的半导体设备用自动加药装置，缺少对加药设备的清洗装置，无法清洁设备的内壁，装置中无法保证其温度稳定，使得其内部药容易受到温度的影响，装置在运行时，容易发生震动，导致装置损坏，噪音增大，现提供半导体设备自动加药装置，通过两个温度传感器感应温度，控制输送管道，输送热水进入保温腔内部，对药进行保温，使得温度更加均匀，通过搅拌电机带动扇叶和三角搅拌叶旋转，便于对药进行搅拌，同时防止药堵塞在出口处，通过活动杆挤压液压腔内部的液体，通过液体的运动减少装置的震动，通过电动推杆带动第一齿轮与第二齿轮和主动齿轮啮合，便于打开和关闭清洁的功能。

本实用新型解决技术问题采用的技术方案是：半导体设备自动加药装置，包括：外箱体，所述外箱体内部设有保温机构，所述外箱体顶部设有搅拌机构，所述搅拌机构一端设有清洁机构，所述外箱体底部设有减震机构，所述搅拌机构包括主动齿轮，所述清洁机构包括第一齿轮和第二齿轮。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述保温机构包括内箱，所述内箱通过支撑块固定连接在外箱体内部，所述内箱和外箱体之间开设有保温腔，所述外箱体外壁顶部和底部两端均固定连接有输送管道，所述内箱内壁靠近顶部和底部的两端均设有温度传感器。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述搅拌机构包括搅拌电机，所述搅拌电机固定连接在外箱体顶部，所述搅拌电机输出端固定连接有转轴，所述转轴在外箱体外部固定连接有主动齿轮，所述转轴穿过有内箱，所述转轴上焊接有扇叶和三角搅拌片，所述内箱底部开设有与三角搅拌片相适应的锥形槽。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述清洁机构包括电动推杆，所述电动推杆固定连接在外箱体顶部，所述电动推杆输出端转动连接有第一齿轮，所述第二齿轮中间固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆穿过外箱体螺纹连接有清洁环，所述清洁环外壁上粘连有清洁刷。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述减震机构包括支撑板，所述支撑板固定连接在外箱体，所述支撑板底部固定连接有活动杆，所述活动杆插接在液压腔内部，所述液压腔底部固定连接有底板。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述主动齿轮通过第一齿轮啮合连接有第二齿轮，所述第一齿轮滑动连接在外箱体顶部，所述第一齿轮数量为两个，两个所述第一齿轮分别啮合连接两个第二齿轮。

本实用新型具有以下优点：通过两个温度传感器感应温度，控制输送管道，输送热水进入保温腔内部，对药进行保温，使得温度更加均匀，通过搅拌电机带动扇叶和三角搅拌叶旋转，便于对药进行搅拌，同时防止药堵塞在出口处，通过活动杆挤压液压腔内部的液体，通过液体的运动减少装置的震动，通过电动推杆带动第一齿轮与第二齿轮和主动齿轮啮合，便于打开和关闭清洁的功能。

附图说明