[实用新型]一种激光切割机夹具

权利要求书

1.一种激光切割机夹具，其特征在于：包括设置在激光切割机下方并用于放置晶圆的放置板以及设置在放置板下方用于将晶圆吸附固定在放置板上的抽气机构，所述放置板上设有密集分布的若干通气孔。

2.根据权利要求1所述的激光切割机夹具，其特征在于：所述放置板的厚度不小于5mm。

3.根据权利要求1所述的激光切割机夹具，其特征在于：所述放置板的底面设有用于防止变形的若干加劲肋。

4.根据权利要求1所述的激光切割机夹具，其特征在于：所述放置板为格栅板。

5.根据权利要求1所述的激光切割机夹具，其特征在于：所述放置板上还设有用于定位晶圆的若干定位部件。

6.根据权利要求5所述的激光切割机夹具，其特征在于：所述定位部件包括一个与晶圆上的豁口配合的角形定位部件或者一个与晶圆上的切口配合的直边定位部件。

7.根据权利要求1所述的激光切割机夹具，其特征在于：所述抽气机构为下沉式吸尘器。

8.根据权利要求1所述的激光切割机夹具，其特征在于：还包括一护框，所述抽气机构的进气口设置在护框的底面或侧壁上；所述放置板设置在护框的顶部开口。

9.根据权利要求1所述的激光切割机夹具，其特征在于：还包括封闭板，封闭板的中心设有与晶圆配合的放置孔，封闭板放置在所述放置板上。

10.根据权利要求9所述的激光切割机夹具，其特征在于：所述封闭板由柔性不透气材料制成。