[实用新型]一种激光切割机夹具

说明书

本实用新型涉及一种激光切割机夹具，包括设置在激光切割机下方并用于放置晶圆的放置板以及设置在放置板下方用于将晶圆吸附固定在放置板上的抽气机构，所述放置板上设有密集分布的若干通气孔。本实用新型的放置板上设有密分布的通气孔，晶圆放置在放置板上后会遮挡住部分通气孔，这部分的通气孔与抽气机构配合形成对晶圆的吸附点，使得晶圆被吸附固定在放置板上，晶圆不易发生位移，可以提高激光切割的精度，同时，本实用新型可以免除夹具对激光切割的干扰，使用方便，可以提高晶圆切割加工的良品率。此外，本实用新型可以适配不同规格大小的晶圆切割加工，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及晶圆激光切割设备技术领域，尤其涉及一种激光切割机夹具。

背景技术

激光切割机主要应用于板材切割下料，具有精度高、切割快速、不局限于切割图案限制、切口平滑以及加工成本低等特点，已经逐渐改进或取代传统的切割工艺设备。激光切割机工作时，由于激光切割机工作平台由锯齿状薄板等间距平行排列组成，通常将板材直接放置在工作台上，数控编程排版进行切割。

因没有夹具，现有方法在晶圆较厚质量较大且切割线稀疏时，才能保证切割精度；但是，当切割线条较密，且晶圆较薄时，切割过程中容易发生位移，导致切割精度不准确、定位边出现偏差、甚至产生废品。因此，需开发一种能固定晶圆使切割精度提高的夹具。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型的目的在于提供一种激光切割机夹具，能够有效地固定不同尺寸的晶圆而不发生位移，保证晶圆激光切割的精度，提高良品率。

为达到上述目的，本实用新型公开了一种激光切割机夹具，包括设置在激光切割机下方并用于放置晶圆的放置板以及设置在放置板下方用于将晶圆吸附固定在放置板上的抽气机构，所述放置板上设有密集分布的若干通气孔。

优选地，所述放置板的厚度不小于5mm。

优选地，所述放置板的底面设有用于防止变形的若干加劲肋。

优选地，所述放置板为格栅板。

优选地，所述放置板上还设有用于定位晶圆的若干定位部件。

优选地，所述定位部件包括一个与晶圆上的豁口配合的角形定位部件或者一个与晶圆上的切口配合的直边定位部件。

优选地，所述抽气机构为下沉式吸尘器。

优选地，还包括一护框，所述抽气机构的进气口设置在护框的底面或侧壁上；所述放置板设置在护框的顶部开口。

优选地，还包括封闭板，封闭板的中心设有与晶圆配合的放置孔，封闭板放置在所述放置板上。

优选地，所述封闭板由柔性不透气材料制成。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型的放置板上设有密分布的通气孔，晶圆放置在放置板上后会遮挡住部分通气孔，这部分的通气孔与抽气机构配合形成对晶圆的吸附点，使得晶圆被吸附固定在放置板上，晶圆不易发生位移，可以提高激光切割的精度，同时，本实用新型可以免除夹具对激光切割的干扰，使用方便，可以提高晶圆切割加工的良品率。此外，本实用新型可以适配不同规格大小的晶圆切割加工，实用性强。

附图说明

图1为本实用新型的示意图。

图2为角形定位部件定位晶圆的示意图。

图3为图2中A处的放大示意图。

图4为直边定位部件定位晶圆的示意图。

注：图2-4中，隐藏了通气孔。

主要部件符号说明：

激光切割机10；