[实用新型]一种用于真空镀膜机的观察窗

权利要求书

1.一种用于真空镀膜机的观察窗，主要包括座体、窗玻璃、压盖和保护装置，其特征在于：座体设置在真空镀膜机的真空室壁上或镀膜机门上，座体内腔与真空室相通；窗玻璃安装在座体内腔的一端，并通过压盖压紧；保护装置包括旋转体和手柄转动机构；保护装置可通过旋转体的旋转对窗玻璃起到屏蔽镀膜污染的作用。

2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的观察窗，其特征在于：座体内腔为圆柱形或圆台形；保护装置的旋转体设置在座体内腔中。

3.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的观察窗，其特征在于：窗玻璃的材质为选自石英玻璃、耐热玻璃和钢化玻璃中的一种，在窗玻璃与座体之间还设置有密封胶圈。

4.根据权利要求2所述的用于真空镀膜机的观察窗，其特征在于：旋转体为球状，旋转体的外缘与座体内腔相切；旋转体可在手柄转动机构的驱动下在座体内腔内旋转，旋转体的旋转角度在0°至90°；旋转体内设置有喇叭状的观察通道，观察通道贯穿旋转体。

5.根据权利要求4所述的用于真空镀膜机的观察窗，其特征在于：旋转体旋转到观察相位时，观察通道开口较小的一端处于窗玻璃的观察区域内，观察通道开口较大的一端对准需要观察的真空室内区域。

6.根据权利要求4所述的用于真空镀膜机的观察窗，其特征在于：旋转体旋转到屏蔽相位时，观察通道的轴线处于与座体内腔的轴线相垂直的位置，此时，窗玻璃与真空室隔离开，可避免膜材附着对窗玻璃造成污染。

7.根据权利要求4所述的用于真空镀膜机的观察窗，其特征在于：通过调节旋转体的旋转角度，可以调节变换真空室内的观察区域。

8.根据权利要求4所述的用于真空镀膜机的观察窗，其特征在于：旋转体的旋转轴线与座体内腔的轴线相互垂直。