[实用新型]一种用于真空镀膜机的观察窗

说明书

本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的观察窗，主要包括座体、窗玻璃、压盖和保护装置；座体设置在真空镀膜机的真空室壁上或镀膜机门上，座体内腔与真空室相通；窗玻璃安装在座体内腔的一端，并通过压盖压紧；保护装置包括旋转体和手柄转动机构。座体内腔为圆柱形或圆台形；保护装置的旋转体设置在座体内腔中。旋转体为球状，旋转体的外缘与座体内腔相切；旋转体可在手柄转动机构的驱动下在座体内腔内旋转，旋转体的旋转角度在0°至90°；旋转体内设置有喇叭状的观察通道，观察通道贯穿旋转体。保护装置可保护观察窗免受膜材附着造成的污染。通过调节旋转体的旋转角度，还可以调节变换真空室内的观察区域。

技术领域

本实用新型属于真空技术领域，特别涉及一种用于真空镀膜机的观察窗。

背景技术

近年来，真空镀膜技术在光学、电子、新能源储能、半导体等领域的产品制备中发挥着越来越重要的作用。在真空镀膜过程中，往往需要通过真空镀膜机上的观察窗来观察真空室内的镀膜工作情况，然而在镀膜过程中，膜材易于附着在观察窗上造成视界污染，从而影响观察窗的观察使用。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于真空镀膜机的观察窗，主要包括座体、窗玻璃、压盖和保护装置；座体设置在真空镀膜机的真空室壁上或镀膜机门上，并通过焊接固定，座体内腔与真空室相通；窗玻璃安装在座体内腔的一端，并通过压盖压紧；保护装置包括旋转体和手柄转动机构；保护装置可通过旋转体的旋转对窗玻璃起到屏蔽镀膜污染的作用。

窗玻璃的材质为选自石英玻璃、耐热玻璃和钢化玻璃中的一种，在窗玻璃与座体之间还设置有密封胶圈。

座体内腔为圆柱形或圆台形；保护装置的旋转体设置在座体内腔中。旋转体为球状，旋转体的外缘与座体内腔相切；旋转体可在手柄转动机构的驱动下在座体内腔内旋转，旋转体的旋转角度在0°至90°；旋转体内设置有喇叭状的观察通道，观察通道贯穿旋转体。通过调节旋转体的旋转角度，还可以调节变换真空室内的观察区域。旋转体的旋转轴线与座体内腔的轴线相互垂直。

旋转体旋转到观察相位时，观察通道开口较小的一端处于窗玻璃的观察区域内，观察通道开口较大的一端对准需要观察的真空室内区域。喇叭状的观察通道可形成广角效果，便于观察者对真空室内进行观察。

旋转体旋转到屏蔽相位时，观察通道的轴线处于与座体内腔的轴线相垂直的位置，此时，窗玻璃与真空室隔离开，可避免膜材附着对窗玻璃造成污染。

本实用新型的有益效果：

本实用新型观察窗中的保护装置可保护观察窗免受膜材附着造成的污染；可通过调节旋转体的旋转角度，可以调节变换真空室内的观察区域；另外，旋转体中的喇叭状观察通道可形成广角的观察效果，便于观察者对真空室内进行观察。

附图说明

图1为本实用新型的用于真空镀膜机的观察窗的一种实施方式的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图进一步说明本实用新型的实施方式。应当理解的是，此处描述的具体实施方式仅用于举例说明和解释本实用新型，并不是用于限制本实用新型。

图1为本实用新型的用于真空镀膜机的观察窗的一种实施方式的结构示意图。如图1所示，本实用新型的用于真空镀膜机的观察窗主要包括座体1、窗玻璃2、压盖3和保护装置；座体1设置在真空镀膜机的真空室壁上4，并通过焊接固定。座体1的内腔与真空室相通；窗玻璃2安装在座体内腔的一端，并通过压盖3压紧；保护装置包括旋转体5和手柄转动机构6；保护装置可通过旋转体5的旋转对窗玻璃2起到屏蔽镀膜污染的作用。

窗玻璃2的材质为选自石英玻璃、耐热玻璃和钢化玻璃中的一种，在窗玻璃2与座体1之间还设置有密封胶圈7。