[实用新型]清理装置及蒸镀机

权利要求书

1.一种清理装置，其特征在于，包括：

底座；

驱动机构，所述驱动机构设置在所述底座上；

清理组件，所述清理组件连接于所述驱动机构，所述清理组件包括清理部件，所述清理部件用于清理点源坩埚的开口。

2.根据权利要求1所述的清理装置，其特征在于，所述清理装置还包括控制模块和感测模组；所述驱动机构包括升降模块；所述控制模块分别电连接于所述感测模组和所述升降模块；

所述感测模组用于感测所述点源坩埚的实时温度和实时材料输出速率；

所述控制模块用于根据所述实时温度和所述实时材料输出速率，控制所述升降模块；

所述升降模块用于驱动所述清理组件下降，直至所述清理部件伸入所述开口的伸入量符合设定伸入量，所述设定伸入量小于所述点源坩埚高度的1/4。

3.根据权利要求2所述的清理装置，其特征在于，所述控制模块用于判断随着所述实时温度的上升，所述实时材料输出速率是否也上升，若所述实时材料输出速率不上升，则发出第一信号至所述升降模块；

所述升降模块用于根据所述第一信号驱动所述清理组件下降。

4.根据权利要求2所述的清理装置，其特征在于，所述设定伸入量大于或等于所述开口的深度。

5.根据权利要求2所述的清理装置，其特征在于，所述驱动机构还包括旋转模块，所述旋转模块设置在所述底座上，所述升降模块连接于所述旋转模块；所述控制模块电连接于所述旋转模块；

所述控制模块还用于根据所述实时温度和所述实时材料输出速率，控制所述旋转模块；

所述旋转模块用于驱动所述清理组件从第一位置转动至第二位置，使所述清理部件对准所述开口。

6.根据权利要求5所述的清理装置，其特征在于，所述清理组件还包括：

固定部件，所述固定部件连接于所述升降模块的输出端；

延伸部件，所述延伸部件设置在所述固定部件上，所述延伸部件的延伸方向分别与所述升降模块的升降方向和所述清理部件的延伸方向相交，所述延伸部件与所述清理部件固定连接。

7.根据权利要求6所述的清理装置，其特征在于，所述清理组件还包括连接部件，所述连接部件上设置有第一连接孔和第二连接孔，所述第一连接孔的深度方向与所述第二连接孔的深度方向相交；

所述延伸部件的一端与所述第一连接孔固定连接；

所述清理部件包括主体部和设置在所述主体部一端的第一部分，所述第一部分与所述第二连接孔固定连接。

8.根据权利要求7所述的清理装置，其特征在于，所述清理部件包括第二部分，所述第二部分连接于所述主体部的另一端，所述第二部分的延伸方向与所述主体部的延伸方向一致，所述第二部分用于伸入所述开口；

在垂直平面上，所述第二部分的宽度，自所述主体部的一端向远离所述主体部一端递减。

9.根据权利要求6所述的清理装置，其特征在于，所述驱动机构还包括外壳，所述外壳套设在所述升降模块的外周侧；

所述固定部件包括导向套和设置在所述导向套上的凸起，所述导向套套设在所述外壳的周侧且连接于所述升降模块的输出端，所述导向套与所述外壳滑动连接，所述凸起上设置有第三连接孔，所述延伸部件的另一端固定连接于所述第三连接孔。

10.一种蒸镀机，其特征在于，包括：

腔室；

点源坩埚，所述点源坩埚设置在所述腔室内，所述点源坩埚上设置有开口；以及

如权利要求1-9任意一项所述的清理装置，所述清理装置设置在所述腔室内，且位于所述点源坩埚的一侧。