[实用新型]清理装置及蒸镀机

说明书

本申请实施例公开了一种清理装置及蒸镀机，蒸镀机包括腔室、点源坩埚和清理装置，点源坩埚和清理装置设置在腔室内，点源坩埚上设置有开口；清理装置位于点源坩埚的一侧；清理装置包括底座、驱动机构和清理组件，驱动机构设置在底座上；清理组件连接于所述驱动机构，清理组件包括清理部件，清理部件用于清理所述开口。本实施例通过在腔室内设置清理装置，采用清理装置清理点源坩埚的开口，提高了清理点源坩埚的开口的效率。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，具体涉及一种蒸镀机。

背景技术

在对现有技术的研究和实践过程中，本申请的发明人发现，点源坩埚因受热不均或材料爆冲等因素，点源坩埚内的材料后热后会累积在坩埚出口处，导致坩埚孔堵塞，而采用人工进行维护则耗时较长。

实用新型内容

本申请实施例提供一种清理装置及蒸镀机，可以提高清理点源坩埚孔堵塞的效率。

本申请实施例提供一种清理装置，其包括：

底座；

驱动机构，所述驱动机构设置在所述底座上；

清理组件，所述清理组件连接于所述驱动机构，所述清理组件包括清理部件，所述清理部件用于清理点源坩埚的开口。

在本申请的一些实施例中，所述清理装置还包括控制模块和感测模组；所述驱动机构包括升降模块；所述控制模块分别电连接于所述感测模组和所述升降模块；

所述感测模组用于感测所述点源坩埚的实时温度和实时材料输出速率；

所述控制模块用于根据所述实时温度和所述实时材料输出速率，控制所述升降模块；

所述升降模块用于驱动所述清理组件下降，直至所述清理部件伸入所述开口的伸入量符合设定伸入量。

在本申请的一些实施例中，所述控制模块用于判断随着所述实时温度的上升，所述实时材料输出速率是否也上升，若所述实时材料输出速率不上升，则发出第一信号至所述升降模块；

所述升降模块用于根据所述第一信号驱动所述清理组件下降。

在本申请的一些实施例中，所述设定伸入量大于或等于所述开口的深度。

在本申请的一些实施例中，所述设定伸入量小于所述点源坩埚高度的1/4。

在本申请的一些实施例中，所述驱动机构还包括旋转模块，所述旋转模块设置在所述底座上，所述升降模块连接于所述旋转模块；所述控制模块电连接于所述旋转模块；

所述控制模块还用于根据所述实时温度和所述实时材料输出速率，控制所述旋转模块；

所述旋转模块用于驱动所述清理组件从第一位置转动至第二位置，使所述清理部件对准所述开口。

在本申请的一些实施例中，所述清理组件还包括：

固定部件，所述固定部件连接于所述升降模块的输出端；

延伸部件，所述延伸部件设置在所述固定部件上，所述延伸部件的延伸方向分别与所述升降模块的升降方向和所述清理部件的延伸方向相交，所述延伸部件与所述清理部件固定连接。

在本申请的一些实施例中，所述清理组件还包括连接部件，所述连接部件上设置有第一连接孔和第二连接孔，所述第一连接孔的深度方向与所述第二连接孔的深度方向相交；

所述延伸部件的一端与所述第一连接孔固定连接；

所述清理部件包括主体部和设置在所述主体部一端的第一部分，所述第一部分与所述第二连接孔固定连接。