[实用新型]一种UVLED光源的聚光装置及平行曝光光源系统有效

专利信息
申请号: 202121185682.X 申请日: 2021-05-31
公开(公告)号: CN214751325U 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 余燕青;杜志航 申请(专利权)人: 东莞市友辉光电科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 东莞市创益专利事务所 44249 代理人: 许彬
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 uvled 光源 聚光 装置 平行 曝光 系统
【权利要求书】:

1.一种UVLED光源的聚光装置,其特征在于,具有:

椭球面镜(1),该椭球面镜(1)设有凹弧状的反光面(11)及在反光面(11)上形成的几何中心(12);反光面(11)从几何中心(12)朝反光方向延伸,反光面(11)的延伸末端相对几何中心(12)具有第一高度;

光源(2),该光源(2)设置在椭球面镜(1)的几何中心(12)处且朝反光方向延伸呈柱状,光源(2)的延伸末端相对几何中心(12)具有第二高度,该第二高度小于第一高度;所述光源(2)包括有若干UVLED灯珠(21),UVLED灯珠(21)在第二高度范围内围绕光源(2)设定的光源轴线(L)排列布置;所述UVLED灯珠(21)经过封装获得第一次自身聚焦,而光源(2)上所有的UVLED灯珠(21)发光经过椭球面镜(1)的反光面(11)反射聚焦,获得聚焦光斑(A),该聚焦光斑(A)与几何中心(12)的连线恰好与光源轴线(L)重合,聚焦光斑(A)到几何中心(12)的距离是第三高度,该第三高度大于第一高度。

2.根据权利要求1所述的一种UVLED光源的聚光装置,其特征在于,光源(2)上所有的UVLED灯珠(21)分成多组,每一组的UVLED灯珠(21)焊接在同一片灯盘(22)上,灯盘(22)贴附式组装在水冷模组(23)上。

3.根据权利要求2所述的一种UVLED光源的聚光装置,其特征在于,所述同组的UVLED灯珠(21)发光波长是365nm、395nm或其组合。

4.根据权利要求2所述的一种UVLED光源的聚光装置,其特征在于,所述水冷模组(23)包括有支撑柱(231)及导热板(232),支撑柱(231)内部设有进水管道(2311)及回水管道(2312),以及在支撑柱(231)的外周面设有凹槽状的螺旋水冷流道(2313),螺旋水冷流道(2313)将进水管道(2311)和回水管道(2312)连通,实现冷却水循环流动;所述导热板(232)组装在支撑柱(231)的外周面并紧密遮盖螺旋水冷流道(2313),导热板(232)的外侧则贴合连接灯盘(22);灯盘(22)围绕支撑柱(231)外周间隔分布,获得圆柱状发光。

5.平行曝光光源系统,其特征在于,具有:

椭球面镜(1),该椭球面镜(1)设有凹弧状的反光面(11)及在反光面(11)上形成的几何中心(12);反光面(11)从几何中心(12)朝反光方向延伸,反光面(11)的延伸末端相对几何中心(12)具有第一高度;

光源(2),该光源(2)设置在椭球面镜(1)的几何中心(12)处且朝反光方向延伸呈柱状,光源(2)的延伸末端相对几何中心(12)具有第二高度,该第二高度小于第一高度;所述光源(2)包括有若干UVLED灯珠(21),UVLED灯珠(21)在第二高度范围内围绕光源(2)设定的光源轴线(L)排列布置;所述UVLED灯珠(21)经过封装获得第一次自身聚焦,而光源(2)上所有的UVLED灯珠(21)发光经过椭球面镜(1)的反光面(11)反射聚焦,获得聚焦光斑(A),该聚焦光斑(A)与几何中心(12)的连线恰好与光源轴线(L)重合,聚焦光斑(A)到几何中心(12)的距离是第三高度,该第三高度大于第一高度;

蝇眼透镜组(3),该蝇眼透镜组(3)组装在聚焦光斑(A)处;蝇眼透镜组(3)对聚焦光斑(A)进行光学积分分配,形成均匀多点光源后经过第一反射冷光镜(6)及反射球面镜(4)反射准直获得平行光源投射到曝光工位(5)上。

6.根据权利要求5所述的平行曝光光源系统,其特征在于,所述光源(2)上所有的UVLED灯珠(21)分成多组,每一组UVLED灯珠(21)焊接在同一片灯盘(22)上,灯盘(22)贴附式组装在水冷模组(23)上。

7.根据权利要求6所述的平行曝光光源系统,其特征在于,所述同组的UVLED灯珠(21)发光波长是365nm、395nm或其组合。

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