[实用新型]一种UVLED光源的聚光装置及平行曝光光源系统

说明书

本实用新型涉及一种UVLED光源的聚光装置，具有椭球面镜，椭球面镜设有凹弧状的反光面及在反光面上形成的几何中心；光源设置在椭球面镜的几何中心处且朝反光方向延伸呈柱状，光源包括有若干UVLED灯珠，UVLED灯珠在第二高度范围内围绕光源设定的光源轴线排列布置；UVLED灯珠发光经过椭球面镜的反光面反射聚焦，获得聚焦光斑，该聚焦光斑与几何中心的连线恰好与光源轴线重合。本实用新型将该光斑用于曝光作业，获得光线强度均衡、角度一致的平行曝光光，光线强度均衡，角度一致，达到高精度的图形曝光显影加工，适合制作精细线路；且曝光线路相对简单，减少曝光光源占地面积，用于显示面板曝光加工，提升曝光质量及效率。

技术领域

本实用新型涉及显示面板上制作电子线路技术领域，尤其是涉及曝光光源。

背景技术

随着薄膜晶体管液晶显示器( 简称TFT-LCD) 技术的迅猛发展和不断提高，内嵌式触控面板将大行其道。相较于外挂式薄膜触控，In-Cell及On-Cell等内嵌式触控面板不仅效能更佳，且可满足产品轻薄和低成本设计要求，已快速被智能型手机、平板及笔电制造商采用，由于In-Cell触控技术布线密度大，造成生产良率低和触控IC设计匹配存在干扰等方面问题；On-Cell触控技术不只应用于LCD面板，也被应用在AMOLED面板。它与触控IC厂商合作开发出以“单面单层”触控感测器搭配触控IC，可支援二到五指多点触控的低阶与中阶解决方案，大大提高了生产良率。目前薄膜晶体管液晶显示器供货量增多且价格下滑后，LCD On-Cell触控面板渗透率势将更形扩大。

On-Cell则是将触控感测器的线路做在彩色滤光片玻璃（CF Glass）上，需要对TFT-LCD布线进行对位曝光操作。实际操作中，由于On cell要按产品分割小规格尺寸进行减薄和镀膜，造成On cell产品规格尺寸繁多，为了保证曝光位准确性，需要进行基板对位，最后对基板进行曝光、显影和蚀刻等工艺。现有曝光机上主要是采用LED点阵光源，通过复眼出现多次反射有多重虚拟光点. 因此,出射面的照明可以展开近似为一个二维光源阵列照明，边缘光强由强到弱的现象，这样的平行光源制作精细线路存在缺陷；，不符合现有加工工业发展，需要进一步改进。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种UVLED光源的聚光装置及平行曝光光源系统，很好的解决上述技术问题。

为达到上述目的，本实用新型提供一种UVLED光源的聚光装置，其具有：

椭球面镜，该椭球面镜设有凹弧状的反光面及在反光面上形成的几何中心；反光面从几何中心朝反光方向延伸，反光面的延伸末端相对几何中心具有第一高度；

光源，该光源设置在椭球面镜的几何中心处且朝反光方向延伸呈柱状，光源的延伸末端相对几何中心具有第二高度，该第二高度小于第一高度；所述光源包括有若干UVLED灯珠，UVLED灯珠在第二高度范围内围绕光源设定的光源轴线排列布置；所述UVLED灯珠经过封装获得第一次自身聚焦，而光源上所有的UVLED灯珠发光经过椭球面镜的反光面反射聚焦，获得聚焦光斑，该聚焦光斑与几何中心的连线恰好与光源轴线重合，聚焦光斑到几何中心的距离是第三高度，该第三高度大于第一高度。

上述方案进一步是，所述光源上所有的UVLED灯珠分成多组，每一组UVLED灯珠焊接在同一片灯盘上，灯盘贴附式组装在水冷模组上。

上述方案进一步是，所述同组的UVLED灯珠（21）发光波长是365nm、395nm或其组合。

上述方案进一步是，所述水冷模组包括有支撑柱及导热板，支撑柱内部设有进水管道及回水管道，以及在支撑柱的外周面设有凹槽状的螺旋水冷流道，螺旋水冷流道将进水管道和回水管道连通，实现冷却水循环流动；所述导热板组装在支撑柱的外周面并紧密遮盖螺旋水冷流道，导热板的外侧则贴合连接灯盘；灯盘围绕支撑柱外周间隔分布，获得圆柱状发光。

为达到上述目的，本实用新型提供的平行曝光光源系统，其具有：